| 大会名称 |
|---|
| 2010年 情報科学技術フォーラム(FIT) |
| 大会コ－ド |
| F |
| 開催年 |
| 2010 |
| 発行日 |
| 2010/8/20 |
| セッション番号 |
| 7M |
| セッション名 |
| 物体認識と計測 |
| 講演日 |
| 2010/09/09 |
| 講演場所(会議室等) |
| M会場（総合学習プラザ2F 第16講義室） |
| 講演番号 |
| H-043 |
| タイトル |
| 試料傾斜角の異なる複数枚SEM画像からのLSI三次元形状推定 |
| 著者名 |
| 林 史也, 御堂 義博, 中前 幸治, |
| キーワード |
| パターン計測, パーティクルフィルタ, 走査電子顕微鏡 |
| 抄録 |
| LSIの微細化・高速化のために、Fin-FETなどの三次元的な構造を有するデバイスが注目されている。しかし、従来の平面的な構造に比べて、管理の必要なパラメータ（パターンの高さや角の丸み等）が増加し、トップビューの走査電子顕微鏡（SEM）画像のみでは計測要求を満足することが困難である。本研究では、傾斜角の異なる複数枚SEM 画像から三次元形状の推定を試みる。まず、シミュレーションにより形状と傾斜SEM画像との関係をデータベース化しておく。与えられた傾斜像シリーズに対して、パーティクルフィルタを用いて傾斜画像間の同じ位置を大まかに追跡した後、データベース情報から逆問題を解くことで形状寸法を推定する。 |
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