| 大会名称 |
| 2023年 総合大会 |
| 大会コ－ド |
| 2023G |
| 開催年 |
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2023
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| 発行日 |
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2023-02-28
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| セッション番号 |
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C-10
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| セッション名 |
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電子デバイス
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| 講演日 |
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2023/3/10
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| 講演場所(会議室等) |
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3号館 3307教室
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| 講演番号 |
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C-10-9
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| タイトル |
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フレキシブルCMOSイメージセンサの実現に向けた円筒面状湾曲回路の試作と評価
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| 著者名 |
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○後藤正英, 為村成亨, 堺 俊克, 佐藤弘人,
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| キーワード |
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イメージセンサ, フレキシブル, SOI, 転写, 光電変換膜
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| 抄録 |
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CMOSイメージセンサの高精細・高フレームレートなどの高い性能を有し、かつ自由に曲げることのできる新たなイメージセンサの実現を目指して、フレキシブルCMOSイメージセンサの研究を進めている。これまでに、Fully Depleted Silicon On Insulator（FDSOI）基板上に形成したCMOS回路と結晶セレン（c-Se）などからなる光電変換膜をプラスチック製の柔軟な基板に転写する作製技術を提案した。今回、CMOS回路を柔軟なPolyethylene Terephthalate（PET）基板に転写し、円筒面状に湾曲させた状態で初めて動作を確認したので報告する。
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