大会名称
2021年 総合大会
大会コ-ド
2021G
開催年
2021
発行日
2021-02-23
セッション番号
C-10
セッション名
電子デバイス
講演日
2021/3/12
講演場所(会議室等)
Meeting 16
講演番号
C-10-2
タイトル
GaN HEMTの低周波Yパラメータ特性における表面トラップの影響に対するTCAD解析
著者名
◎大塚友絢山口裕太郎山中宏冶大石敏之
キーワード
GaN HEMT, 低周波Yパラメータ, トラップ, 表面, TCAD
抄録
GaN HEMTにおける表面トラップが低周波Yパラメータ特性に与える影響についてTCADを用いて解析した。TCAD解析の結果、表面トラップによりY21の虚部に正のピークの特性が現れるが、Y22の虚部ではフラットな特性となることを確認した。さらに、GaN HEMTの低周波Yパラメータ測定結果がTCAD解析と同じ傾向であることを確認した。
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