大会名称
2020年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2020S
開催年
2020
発行日
2020/9/1
セッション番号
N-1
セッション名
非線形問題
講演日
2020/9/18
講演場所(会議室等)
Meeting 14
講演番号
N-1-1
タイトル
ケルビンプローブフォース顕微鏡1自由度連続体カンチレバーモデルにおける2次振動モードの周波数特性に関する研究
著者名
◎坪久田崇史清水邦康
キーワード
走査型プローブ顕微鏡, カンチレバー, 連続体モデル
抄録
ケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM;Kelvin Probe Force Microscope)は走査型プローブ顕微鏡の一種で, 原子間力顕微鏡の応用によって, 様々な試料の表面電位をナノスケールで計測することができる顕微鏡である. 本研究では, KFMにおけるカンチレバーの振動を連続体カンチレバーモデルで近似して, 数値計算する. 本研究では, KFM連続体カンチレバーモデルにおいて, 原子間力顕微鏡モデルにおいて報告された共振周波数付近の側波成分に着目する. 特に, 2次振動モード共振周波数近傍の周波数スペクトルにおいて, 探針と試料の電位差を大きくしてカンチレバーにかかる静電気力が印加された場合に側波成分がどのように変化するかを調査する.
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