| 大会名称 |
| 2019年 総合大会 |
| 大会コ－ド |
| 2019G |
| 開催年 |
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2019
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| 発行日 |
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2019-03-05
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| セッション番号 |
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A-4
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| セッション名 |
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超音波
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| 講演日 |
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2019/03/20
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| 講演場所(会議室等) |
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53号館 403教室
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| 講演番号 |
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A-4-4
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| タイトル |
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Al金属ターゲットへのSc埋め込みの有無によるScAlN薄膜音響共振子の結晶化度の違いと圧電特性
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| 著者名 |
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◎木原流唯, 高柳真司, 柳谷隆彦,
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| キーワード |
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スパッタターゲット, 圧電薄膜, 負イオン, ScAlN薄膜
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| 抄録 |
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近年、数多くの無線デバイスの普及に伴って、周波数フィルタの需要が高まっている。スマートフォン用の周波数フィルタとしてAlN圧電薄膜を用いたBAW(Bulk Acoustic Wave)フィルタが実用化されている。AlNにScをドープすることで圧電性が大幅に向上することが報告されている。広帯域化が可能となるため、ScAlN薄膜をBAWフィルタに応用する研究が広く行われている。Scは酸化しやすく不純物を含んでいるので、Scから基板に照射される酸素などの負イオンが結晶性の劣化を引き起こすことが報告されている。Sc粒をAl金属円板の上に置いたターゲット(Sc粒置き)では、Scの塊から粒を切り出す時に酸化しやすいことと、Al金属円板の下のスパッタガンに循環している冷却水の効果がSc粒まで届きにくく、成膜中にSc粒が高温になることで高エネルギーO?が生じたり、不純物炭素が窒化したCN?が基板に照射されて結晶性が劣化する可能性がある。そこで本研究では、Sc粒をAl金属円板ターゲットに埋め込むことでSc粒の冷却を促し、負イオンの照射を抑制しようと試みた。
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