| 大会名称 |
| 2018年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2018S |
| 開催年 |
|
2018
|
| 発行日 |
|
2018/8/28
|
| セッション番号 |
|
BI-8
|
| セッション名 |
|
IoT技術の横断的連携が生み出す未来社会
|
| 講演日 |
|
2018/9/13
|
| 講演場所(会議室等) |
|
自然科学本館 3F 302講義室
|
| 講演番号 |
|
BI-8-2
|
| タイトル |
|
超低消費電力データ収集システム実現に向けたCMOS混載SiGe-MEMSセンサの開発
|
| 著者名 |
|
◎小島章弘, 富澤英之, 柴田英毅,
|
| キーワード |
|
MEMS, sensor, Ultra Low Power
|
| 抄録 |
|
現在のIoTは、様々な事業分野での活用が期待され、センサ端末の数は爆発的な伸びが予測されいる。データ収集システムが広く普及するためは、環境発電技術との組み合わせによるシステムの自立電源化が強く求められ、環境発電の高効率化とシステムの低消費電力化を実現する超低消費電力なデータ収集システム開発を行っている。低消費電力化に対応しCMOS回路の直上にMEMS構造を形成するため、膜応力を制御可能な低温poly-SiGe膜堆積技術を開発した。SiGe材料を適用したSiGe-MEMSセンサは、Si－MEMSセンサよりも２倍以上の高感度化が可能であり、1/20以上の低消費電力化を実現した。このCMOS混載化技術は、IoT時代の超低消費電力センサの実現に向けて非常に有望だと考える。
|
| 本文pdf |
|
PDF download
|
