大会名称
2018年 総合大会
大会コ-ド
2018G
開催年
2018
発行日
セッション番号
C-12
セッション名
集積回路
講演日
2018/3/20
講演場所(会議室等)
2号館 8F 2805教室
講演番号
C-12-22
タイトル
FPGAとマイコンで制御する小型かつ低電力なBTI評価用チップ測定系の定電圧電源回路の検討
著者名
◎中村遥香中野洋希岸田 亮小林和淑
キーワード
BTI, チップ測定系
抄録
集積回路の微細化の進行により,BTIによる経年劣化現象が問題となっている.時間経過に伴うしきい値電圧の劣化を検証するために,BTIによる劣化を長時間(数年間)測定し続けることができる小型かつ低電力なチップ測定系と,逆方向基板バイアスのための負電圧を生成する回路を設計し,その動作確認を行った結果を報告する.定電圧電源回路に供給するPWM信号はFPGAから出力し,Duty比で出力電圧を設定する.負電圧は,チャージポンプを用いて電圧反転させる.提案した電源回路と市販電源それぞれを用いてリングオシレータの発振周波数を測定した結果,提案した電源回路によって生成された電圧が,市販電源と同程度の電圧安定性であることを確認した.
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