大会名称 |
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2018年 総合大会 |
大会コ-ド |
2018G |
開催年 |
2018 |
発行日 |
セッション番号 |
C-12 |
セッション名 |
集積回路 |
講演日 |
2018/3/20 |
講演場所(会議室等) |
2号館 8F 2805教室 |
講演番号 |
C-12-22 |
タイトル |
FPGAとマイコンで制御する小型かつ低電力なBTI評価用チップ測定系の定電圧電源回路の検討 |
著者名 |
◎中村遥香, 中野洋希, 岸田 亮, 小林和淑, |
キーワード |
BTI, チップ測定系 |
抄録 |
集積回路の微細化の進行により,BTIによる経年劣化現象が問題となっている.時間経過に伴うしきい値電圧の劣化を検証するために,BTIによる劣化を長時間(数年間)測定し続けることができる小型かつ低電力なチップ測定系と,逆方向基板バイアスのための負電圧を生成する回路を設計し,その動作確認を行った結果を報告する.定電圧電源回路に供給するPWM信号はFPGAから出力し,Duty比で出力電圧を設定する.負電圧は,チャージポンプを用いて電圧反転させる.提案した電源回路と市販電源それぞれを用いてリングオシレータの発振周波数を測定した結果,提案した電源回路によって生成された電圧が,市販電源と同程度の電圧安定性であることを確認した. |
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