大会名称
2017年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2017S
開催年
2017
発行日
セッション番号
CI-1
セッション名
異種材料融合技術で加速する集積光デバイスの新展開
講演日
2017/9/13
講演場所(会議室等)
1号館 13K
講演番号
CI-1-3
タイトル
高機能・高集積光デバイスを支える異種材料貼り合わせ技術
著者名
下村和彦
キーワード
貼り合わせ技術, シリコン, 化合物半導体, 結晶成長, 半導体レーザ, 集積技術
抄録
シリコンフォトニクスにおける光源としてはIII-V族半導体レーザを集積化することが有望であるが、そのためにはシリコン基板とIII-V族半導体の異種材料貼り合わせ技術が必要となる。本講演においてはシリコン基板とIII-V族半導体の各種貼り合わせ技術を比較し、高機能、高集積化が可能な技術について説明する。またわれわれが検討しているInP-Siテンプレート上へ結晶成長した1.5μm帯GaInAsPレーザの発振特性について説明する。
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