大会名称 |
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2017年 ソサイエティ大会 |
大会コ-ド |
2017S |
開催年 |
2017 |
発行日 |
セッション番号 |
CI-1 |
セッション名 |
異種材料融合技術で加速する集積光デバイスの新展開 |
講演日 |
2017/9/13 |
講演場所(会議室等) |
1号館 13K |
講演番号 |
CI-1-3 |
タイトル |
高機能・高集積光デバイスを支える異種材料貼り合わせ技術 |
著者名 |
下村和彦, |
キーワード |
貼り合わせ技術, シリコン, 化合物半導体, 結晶成長, 半導体レーザ, 集積技術 |
抄録 |
シリコンフォトニクスにおける光源としてはIII-V族半導体レーザを集積化することが有望であるが、そのためにはシリコン基板とIII-V族半導体の異種材料貼り合わせ技術が必要となる。本講演においてはシリコン基板とIII-V族半導体の各種貼り合わせ技術を比較し、高機能、高集積化が可能な技術について説明する。またわれわれが検討しているInP-Siテンプレート上へ結晶成長した1.5μm帯GaInAsPレーザの発振特性について説明する。 |
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