大会名称
2016年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2016S
開催年
2016
発行日
2016-09-06
セッション番号
CI-4
セッション名
有機エレクトロニクスにおける評価・作製技術の進展
講演日
2016/9/21
講演場所(会議室等)
工学部 P棟 P354
講演番号
CI-4-3
タイトル
水晶振動子マイクロバランスを用いた有機薄膜成長初期過程の評価
著者名
○松原亮介久保野敦史
キーワード
有機薄膜成長, 水晶振動子マイクロバランス
抄録
薄膜の成長初期過程は、その後の成長様式を決定する重要な過程である。金属や無機半導体薄膜では電子線を用いて成長過程の評価が行われてきたが、有機薄膜は電子線による損傷を受けやすいことから、一部の安定な材料にしか適用できない。我々は非破壊な測定方法として水晶振動子マイクロバランスを用い、付着・吸着量の時間変化を解析することにより有機薄膜成長過程の検討を行っている。
本講演では、水晶振動子マイクロバランスを用いた薄膜成長過程評価方法の解説ならびに、長鎖分子であるパラフィンやステアリン酸の薄膜成長に関する最近の実験結果を紹介する。
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