| 大会名称 |
|---|
| 2016年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2016S |
| 開催年 |
| 2016 |
| 発行日 |
| 2016-09-06 |
| セッション番号 |
| CI-3 |
| セッション名 |
| IoT時代に求められるセンサ技術・デバイス |
| 講演日 |
| 2016/9/20 |
| 講演場所(会議室等) |
| 工学部 情報科学研究科棟 A12 |
| 講演番号 |
| CI-3-5 |
| タイトル |
| テラヘルツセンシング用非冷却・高感度MEMSボロメータの開発 |
| 著者名 |
| 張 亜, 渡辺康行, 細野 優, 長井奈緒美, ○平川一彦, |
| キーワード |
| テラヘルツ電磁波, MEMS, ボロメータ |
| 抄録 |
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基礎科学や安全・安心分野などへの応用が注目されているテラヘルツ技術を社会の様々な場面で広く応用展開していくためには、極低温への冷却を必要としない高感度・高速のテラヘルツ検出技術の開発は必要不可欠である。特に、テラヘルツイメージング用カメラに応用できるような集積可能な半導体非同期型検出器のニーズは極めて大きい。 本講演では、テラヘルツ入射光で誘起される発熱によるわずかな温度上昇を、MEMS両持ち梁構造の共振周波数のシフトとして高感度に読み取ることを原理とする非冷却・高感度・高速なテラヘルツ検出用ボロメータ開発についての現状について報告する。 |
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