| 大会名称 |
|---|
| 2016年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2016S |
| 開催年 |
| 2016 |
| 発行日 |
| 2016-09-06 |
| セッション番号 |
| CI-2 |
| セッション名 |
| 多様化が進む光能動デバイス・装置と信頼性技術 |
| 講演日 |
| 2016/9/20 |
| 講演場所(会議室等) |
| 工学部 C棟 C214 |
| 講演番号 |
| CI-2-5 |
| タイトル |
| 選択ドーピングを用いない高速アバランシェフォトダイオードの高信頼化技術 |
| 著者名 |
| ○名田允洋, 中島史人, 星 拓也, 村本好史, 松崎秀昭, |
| キーワード |
| APD, メサ型 |
| 抄録 |
|
近年通信トラフィックが急増しているデータセンタ(DC)ネットワークでは， DC内における短距離の通信のみならず，一定の伝送距離が必要なDC間通信も重要である．このようなDC間の通信に向けては，高速・高感度特性を有し，伝送距離を拡大しながらもシステム全体の消費電力への影響が小さいアバランシェフォトダイオード(APD)が注目されている． 一般に光通信用の光デバイスには低コスト化と共に一定の信頼性が求められる．APDは素子に高い電界強度を生じさせることでキャリアを増倍させるが，信頼性を確保するためには，素子表面ないしは側面の電界強度を抑えることが重要であることが知られている[1]．この為，従来のAPDでは，選択拡散やイオン注入などによる選択ドーピング技術が用いられてきた[2-3]． 本稿では選択ドーピングを用いず，簡易なウエットエッチングによるメサ構造を有しながらも，素子側面の電界を緩和し高信頼化が可能なAPDの構造について述べる． |
| 本文pdf |
|
PDF download
|