大会名称
2016年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2016S
開催年
2016
発行日
2016-09-06
セッション番号
C-10
セッション名
電子デバイス/シリコン材料・デバイス
講演日
2016/9/21
講演場所(会議室等)
工学部 情報科学研究科棟 A12
講演番号
C-10-3
タイトル
動脈圧直接測定用光導波型圧力センサに関する研究
著者名
◎片岡寛明新國広幸伊藤 浩
キーワード
圧力センサ, 光導波路
抄録
本研究では,動脈圧を直接測定可能な,円形ダイヤフラムを有する光導波型圧力センサの開発を目指し,有限要素法による理論解析を実施し,その結果を元にセンサを設計・試作・評価した.解析の結果,センサ感度はダイヤフラム厚の2乗に反比例しダイヤフラム面積の1.5乗に比例することが分かった.センサを設計・試作し,試作センサの圧力-出力特性を評価したところ,半波長圧力は33.6kPaであり動脈圧30kPaを測定可能なセンサが作製できた.しかし,ダイヤフラムについては完全な円形とならず,半波長圧力は理論値62.2kPaと差があった.
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