大会名称 |
---|
2016年 ソサイエティ大会 |
大会コ-ド |
2016S |
開催年 |
2016 |
発行日 |
2016-09-06 |
セッション番号 |
C-10 |
セッション名 |
電子デバイス/シリコン材料・デバイス |
講演日 |
2016/9/21 |
講演場所(会議室等) |
工学部 情報科学研究科棟 A12 |
講演番号 |
C-10-3 |
タイトル |
動脈圧直接測定用光導波型圧力センサに関する研究 |
著者名 |
◎片岡寛明, 新國広幸, 伊藤 浩, |
キーワード |
圧力センサ, 光導波路 |
抄録 |
本研究では,動脈圧を直接測定可能な,円形ダイヤフラムを有する光導波型圧力センサの開発を目指し,有限要素法による理論解析を実施し,その結果を元にセンサを設計・試作・評価した.解析の結果,センサ感度はダイヤフラム厚の2乗に反比例しダイヤフラム面積の1.5乗に比例することが分かった.センサを設計・試作し,試作センサの圧力-出力特性を評価したところ,半波長圧力は33.6kPaであり動脈圧30kPaを測定可能なセンサが作製できた.しかし,ダイヤフラムについては完全な円形とならず,半波長圧力は理論値62.2kPaと差があった. |
本文pdf |
PDF download
|