大会名称
2016年 総合大会
大会コ-ド
2016G
開催年
2016
発行日
2016/3/1
セッション番号
C-8
セッション名
超伝導エレクトロニクス
講演日
2016/3/15
講演場所(会議室等)
センター2号館 2F 2205
講演番号
C-8-7
タイトル
SOI基板を用いた導波路結合型SSPD素子の作製
著者名
◎和木健太朗山下太郎井上振一郎三木茂人寺井弘高生田力三山本 俊井元信之
キーワード
SSPD, 導波路
抄録
近年量子光学分野ではシリコンフォトニクス技術の進展を背景に,量子光学回路を基板上にワンチップに集約するモノリシック集積回路が注目されており,そのキーデバイスとして,導波路結合型超伝導ナノワイヤ単一光子検出器(Superconducting nanowire single-photon detector: SSPD)の研究が進められている.導波路結合型SSPDは,導波路上に配置された超伝導ナノワイヤにより導波路中を伝搬する光子を検出する.今回我々は,導波路結合型SSPDの実現に向けて,SOI基板を用いて作製したSi導波路上に超伝導ナノワイヤを作製し,超伝導特性の評価を行った.
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