| 大会名称 |
|---|
| 2012年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2012S |
| 開催年 |
| 2012 |
| 発行日 |
| 2012-08-28 |
| 講演日 |
| 講演場所(会議室等) |
| 講演番号 |
| A-11-4 |
| タイトル |
| A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜のSAW伝搬特性に対するロングスロースパッタ成膜の効果(A-11.超音波,一般セッション) |
| 著者名 |
| 垣尾 省司, 保坂 桂子, |
| キーワード |
| 抄録 |
| 本文pdf |
|
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| 大会名称 |
|---|
| 2012年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2012S |
| 開催年 |
| 2012 |
| 発行日 |
| 2012-08-28 |
| 講演日 |
| 講演場所(会議室等) |
| 講演番号 |
| A-11-4 |
| タイトル |
| A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜のSAW伝搬特性に対するロングスロースパッタ成膜の効果(A-11.超音波,一般セッション) |
| 著者名 |
| 垣尾 省司, 保坂 桂子, |
| キーワード |
| 抄録 |
| 本文pdf |
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