| 大会名称 |
|---|
| 2002年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2002S |
| 開催年 |
| 2002 |
| 発行日 |
| 2002-08-20 |
| 講演日 |
| 講演場所(会議室等) |
| 講演番号 |
| KJ00003408237.pdf |
| タイトル |
| C-6-2 3C-SiC成長初期段階におけるSi(001)上でのMMSiの表面反応過程の観察 |
| 著者名 |
| 原島 正幸, 成田 克, 犬伏 宗和, 安井 寛治, 赤羽 正志, |
| キーワード |
| 抄録 |
| 本文pdf |
|
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| 大会名称 |
|---|
| 2002年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2002S |
| 開催年 |
| 2002 |
| 発行日 |
| 2002-08-20 |
| 講演日 |
| 講演場所(会議室等) |
| 講演番号 |
| KJ00003408237.pdf |
| タイトル |
| C-6-2 3C-SiC成長初期段階におけるSi(001)上でのMMSiの表面反応過程の観察 |
| 著者名 |
| 原島 正幸, 成田 克, 犬伏 宗和, 安井 寛治, 赤羽 正志, |
| キーワード |
| 抄録 |
| 本文pdf |
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