エレクトロニクス-電子部品・材料(開催日:1993/09/16)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]1993/9/16
[資料番号]
目次

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[発表日]1993/9/16
[資料番号]
SiCl_4のプラズマCVDによる多結晶Si及びSiC薄膜

田中 裕之,  本間 敏男,  上村 喜一,  小沼 義治,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-61
水素ラジカルアシストプラズマCVD法によるSiN膜の応力特性

安井 寛治,  中西 和明,  高橋 尚志,  赤羽 正志,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-62
Siおよびα-Al_2O_3基板上へのInNのMOCVD成長

辻野 光紀,  水谷 昌宏,  大久保 貢,  橋本 明弘,  山本 あき勇,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-63
反応性蒸着法によるInN-In_2O_3系薄膜の作製

佐藤 祐一,  佐藤 進,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-64
グラフォエピタキシーの原理と最近の進歩

高倉 秀行,  若林 良昌,  浜川 圭弘,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-65
GaAs(001)面上へのGaSe薄膜の成長

和泉 貴之,  藤田 健一,  丹保 豊和,  上羽 弘,  龍山 智栄,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-66
ポリマーバッテリー用高分子固体電解質の開発

谷野 克巳,  二口 友昭,  寺沢 孝志,  折戸 信也,  八木 晋介,  武田 裕,  前川 弘,  斉藤 隆志,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-67
AIドープZnOスパッタ薄膜を用いた"におい"センサ

遠藤 文孝,  椿野 史朗,  池田 三雄,  南戸 秀仁,  

[発表日]1993/9/16
[資料番号]CPM93-68
[OTHERS]

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[発表日]1993/9/16
[資料番号]