| 役職 | 名前 | 本所属 |
| 委員長 | 萬 伸一 | 理化学研究所 |
| 副委員長 | 尾崎 信彦 | 和歌山大学、システム工学部 |
| 副委員長 | 小野 篤史 | 静岡大学、電子工学研究所 |
| 幹事 | 飛田 聡 | 理化学研究所、石橋極微デバイス工学研究室 |
| 幹事 | 白根 昌之 | 日本電気(株)、 システムプラットフォーム研究所 |
| 委員 | 一色 秀夫 | 電気通信大学 情報理工学研究科 先進理工学専攻 |
| 委員 | 宇髙 勝之 | 早稲田大学、理工学術院 |
| 委員 | 大橋 啓之 | 早稲田大学、ナノ理工学研究機構 |
| 委員 | 小野 崇人 | 東北大学、大学院工学研究科 |
| 委員 | 加々見 丈二 | 神港精機（株） 装置事業部 電子デバイス技術部 |
| 委員 | 勝山 俊夫 | 福井大学、産学官連携本部 |
| 委員 | 五明 明子 | 東京大学 |
| 委員 | 小山 二三夫 | 東京工業大学、精密工学研究所 |
| 委員 | 清水 三聡 | 産業技術総合研究所、先進パワーエレクトロニクス研究センター |
| 委員 | 高原 淳一 | 大阪大学フォトニクス先端融合研究センター |
| 委員 | 中山 知信 | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
国際ナノアーキテクト二クス研究拠点 ナノ機能集積ユニット ナノ機能集積グループ |
| 委員 | 日暮 栄治 | 東京大学 先端科学技術研究センター |
| 委員 | 前野 仁典 | 東京大学 |
| 委員 | 松本 功 | 大陽日酸（株） |
| 委員 | 三浦 篤志 | （株）豊田中央研究所 先端研究センター ナノ構造制御プログラム |
| 委員 | 水野 潤 | 早稲田大学、ナノ理工学研究機構 |
| 委員 | 三宅 弘人 | （株）ダイセル 研究開発本部 コーポレート研究センター 先端材料Gr. |
| 委員 | 目黒 多加志 | 東京理科大学、理学部第2部、物理学科 |
| 委員 | 山田 浩治 | 産業技術総合研究所 電子光技術研究部門 シリコンフォトニクスグループ |
| 委員 | 山本 直克 | 国立研究開発法人 情報通信研究機構
ネットワークシステム研究所 ネットワーク基盤研究室 光アクセス基盤プロジェクト |