エレクトロニクス-電子デバイス(開催日:2002/06/24)

タイトル/著者/発表日/資料番号
エキシマ・レーザ・アニーリングにより形成された再結晶化多結晶シリコンの応力緩和

河本 直哉,  阿部 寿,  松尾 直人,  田口 亮平,  納田 朋幸,  浜田 弘喜,  

[発表日]2002/6/24
[資料番号]ED2002-154
Cu-Field Aided Lateral Crystallization (FALC) of Amorphous Silicon Films below 450℃

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[発表日]2002/6/24
[資料番号]ED2002-155
完全自己整合型ダブルゲート poly-Si TFT

牧平 憲治,  中河 孝介,  浅野 種正,  

[発表日]2002/6/24
[資料番号]ED2002-156
奥付

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[発表日]2002/6/24
[資料番号]
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