| 開催日 | テーマ | 研究会報告 | 開催地 | 担当委員（サブ）敬称略 | 共催 | 投稿〆切 |
| 2012年 | ||||||
| 4月27-28日 | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術および一般 | 沖縄 | 佐道 | OME | 終了 | |
| 5月17-18日 | 結晶成長，評価及びデバイス（化合物，Si，SiGe，電子・光材料） | 豊橋科技大 | CPM | 終了 | ||
| 6月21日 | ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術（応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催） | 名古屋大 | 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | ||
| 6月27-29日 | 2012先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ（AWAD2012） | 沖縄 | 小野 | IEICE、ED、韓国電子工業会 | 終了 | |
| 8月2-3日 | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 | 札幌 | 松田 | ICD | 終了 | |
| 10月25-26日 | プロセス科学と新プロセス技術 | 東北大学 | 後藤 | 終了 | ||
| 11月15-16日 | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 | 機械振興会館 | 国清 | 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 12月7日 | シリコン関連材料の作製と評価 | 京都大学 | 木本 | 10/15 | ||
| 2013年 | ||||||
| 1月30日 | IEDM特集（先端CMOSデバイス・プロセス技術） | 機械振興会館 | 高橋 | 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 2月4日 | 配線・実装技術と関連材料技術 | 機械振興会館 | 終了 | |||
| 2月27-28日 | 機能ナノデバイスおよび関連技術 | 北海道大学 | 池田 | ED | 終了 | |
| 4月25-26日 | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 | 屋久島 | 佐道 | OME | 2/14 | |
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