| 開催日 | テーマ | 研究会報告 | 開催地 | 担当委員（サブ）敬称略 | 共催 | 投稿〆切 |
| 2009年 | ||||||
| 4月23日-24日 | 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス ・材料・評価技術および一般 | 産総研九州 | 宮尾、野口 | OEM | 終了 | |
| 5月14日-15日 | 結晶成長，評価及びデバイス（化合物，Si，SiGe，電子・光材料） | 豊橋技科大 | 終了 | |||
| 6月19日 | ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術 | 東大 駒場 |
終了 | |||
| 6月24日-26日 | 第17回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ (AWAD2009) | 韓国、釜山 | 終了 | |||
| 7月16日-17日 | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 | 東工大 大岡山 |
川中 | ICD | 終了 | |
| 10月29日-30日 | プロセス科学と新プロセス技術 | 東北大学 | 後藤 | 終了 | ||
| 11月12日-13日 | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 | 機械振興会館 | 国清 | 終了 | ||
| 12月4日 | シリコン関連材料の作製と評価 | 奈良先端科技大 | 浦岡 | 終了 | ||
| 2010年 | ||||||
| 1月29日 | IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術) | 機械振興会館 | 高橋、杉井、小野 | 終了 | ||
| 2月5日 | 配線・実装技術と関連材料技術 | 機械振興会館 | 木下、横川、平野、実沢 | 終了 | ||
| 2月22日-23日 | 機能ナノデバイスおよび関連技術 | 沖縄県青年会館 | 平本、小野、池田 | ED | 終了 | |
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