| 開催日 | テーマ | 研究会報告 | 開催地 | 担当委員（サブ）敬称略 | 共催 | 投稿〆切 |
| 2007年 | ||||||
| 4月20日 | 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術 | 静岡大 | 池田 | ED/SDM/CPM |
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| 5月24-25日 | 結晶成長、評価及びデバイス（化合物、Si、SiGe、電子・光材料） | 静岡大 | 池田 | ED/SDM/CPM |
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| 6月7-8日 | ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術 | 広島大 | 宮崎、羽路、松井 |
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| 6月25-27日 | 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジ ア・太平洋ワークショップ | 慶州， 韓国 |
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| 8月23-24日 | VLSI回路、デバイス技術(高速、低電圧、低消費電力) | 北見工大 | 川中 | ICD・SDM |
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| 10月4-5日 | プロセス科学と新プロセス技術 | 東北大 | 寺本 |
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| 10月30-31日 | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 | 機械振興会館 | 國清 | SDM,VLD,応物 | ||
| 11月16日 | 半導体表面・界面制御・評価と電子デバイスの信頼性 | 大阪、中央電気倶楽部 | 松尾 | |||
| 12月14日 | シリコン関連材料の作製と評価 | 奈良先端科技大 | 冬木 |
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| 2008年 | ||||||
| 1月24日 | IEDM特集（先端CMOSデバイス・プロセス技術） | 機械振興会館 | 高橋 | 招待講演 | ||
| 1月30-31日 | 機能ナノデバイスおよび関連技術 | 北海道大学 | 終了 | |||
| 2月8日 | 配線・実装技術と関連材料技術 | 機械振興会館 | 終了 | |||
| 3月14日 | 不揮発メモリと関連技術および一般 | 機械振興会館 | 大野、三木、羽路 | 終了 | ||