| 委員会 役職 | 氏 名 | 所 属 |
| 委 員 長 | 遠藤 哲郎 | 東北大学 学際科学国際高等研究センター |
| 副委員長 | 奈良 安雄 | 富士通セミコンダクター(株) デバイス開発統括部 第一プロセス開発部 |
| 幹 事 | 小野 行徳 | NTT物性基礎研究所 量子電子物性研究部 |
| 幹 事 | 大西 克典 | 九州工業大学 マイクロ化総合技術センター |
| 幹事補佐 | 野村 晋太郎 | 筑波大学大学院 数理物質科学研究科 物質創成先端科学専攻 |
| 専門委員 | 杉井 寿博 | 富士通セミコンダクター（株）開発・製造本部 |
| 専門委員 | 川中 繁 | (株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター |
| 専門委員 | 安斎 久浩 | ソニー（株）半導体事業本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門 |
| 専門委員 | 大見 俊一郎 | 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 |
| 専門委員 | 角原 由美 | NECエナジーデバイス株式会社 開発本部 セル開発部 |
| 専門委員 | 池田 浩也 | 静岡大学 電子工学研究所 |
| 専門委員 | 梅田 浩司 | ルネサス エレクトロニクス（株）プロセス成膜技術部 |
| 専門委員 | 木下 多賀雄 | シャープ(株）電子デバイス事業本部 生産センター |
| 専門委員 | 国清 辰也 | ルネサス エレクトロニクス（株）生産本部 デバイス・解析技術統括部 |
| 専門委員 | 木本 恒暢 | 京都大学 工学研究科 |
| 専門委員 | 平野 博茂 | パナソニック（株）セミコンダクター社 生産本部 プロセス開発センター |
| 専門委員 | 佐々木 公洋 | 金沢大学 大学院 自然科学研究科 |
| 専門委員 | 高橋 芳浩 | 日本大学 理工学部 |
| 専門委員 | 後藤 哲也 | 東北大学 未来科学技術共同研究センター |
| 専門委員 | 野口 隆 | 琉球大学 工学部 |
| 専門委員 | 羽路 伸夫 | 横浜国立大学大学院 工学研究院 |
| 専門委員 | 平本 俊郎 | 東京大学 生産技術研究所 |
| 専門委員 | 冬木 隆 | 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 |
| 専門委員 | 西岡 泰城 | 日本大学 理工学部 |
| 専門委員 | 松尾 直人 | 兵庫県立大学 大学院工学研究科 |
| 専門委員 | 松田 敏弘 | 富山県立大学 工学部 |
| 専門委員 | 松本 智 | 慶応義塾大学 理工学部 |
| 専門委員 | 笹子 佳孝 | (株)日立製作所 中央研究所 |
| 専門委員 | 佐道 泰造 | 九州大学 大学院システム情報科学研究院 |
| 専門委員 | 宮崎 誠一 | 名古屋大学 大学院工学研究科 |
| 専門委員 | 岡田 浩 | 豊橋技術科学大学 工学部 電気・電子情報工学系 |
| アドバイザー | 堀口 文男 | 東洋大学 工学部 コンピュテーショナル工学科 |
| アドバイザー | 浅野 種正 | 九州大学 大学院システム情報科学研究院 |
| アドバイザー | 渡辺 重佳 | 湘南工科大学 情報工学科 |