委員長ご挨拶
シリコン材料・デバイス研究専門委員会 委員長
大見 俊一郎（東京工業大学）
2022年6月よりこの歴史のあるシリコン材料・デバイス研究専門委員会（Silicon Devices and Materials: SDM）の委員長を拝命し、身の引き締まる思いである。現在SDMには30名の委員が所属し（大学20名、企業8名、国研2名）、年8回の研究会を企画・運営している。各回の研究テーマは、シリコンデバイスを中心に、プロセス、回路、評価技術、シミュレーション、化合物半導体、有機半導体など多岐にわたっている。
私は、2004年から研究専門委員としてSDMに参加し、主に毎年10月に東北大学で開催される研究会の企画・運営を行っている。10月研究会のテーマは、クリーン化技術、新材料、プロセス技術で、集積回路製造のための興味深い講演と議論があり、当時膨大な学内業務に忙殺されていたころに、研究会に参加することで頭がリフレッシュするというか、心が洗われるようであったことを今でも鮮明に覚えている。残念ながら現在はコロナ禍のためオンラインでの研究会開催が続いているが、今後以前のように現地開催が復活し、それぞれ興味を持たれたテーマの研究会に参加していただくことが皆様の研究開発の一助になることを願っている。
また、SDMが韓国電子工業会と協力して開催している国際会議AWAD (Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Applications of Advanced Semiconductor Devices)が、2023年に第30回記念を迎える。韓国側の強い希望から、東京工業大学すずかけ台キャンパスで7月10日〜11日に開催予定である。ぜひ、多くの方にご参加いただいて半導体の議論を通して韓国を含むアジア地区の親睦を深めていただければ幸いである。