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　平成16年10月電子情報通信学会SDM研究会
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シリコン材料・デバイス研究専門委員会
研究専門委員長　堀口 文男

************** (テーマ) ***********************
プロセスクリーン化と新プロセス技術
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【日時】
平成１６年１０月１４日(木)、１５日(金）

【会場】
東北大学未来科学技術共同研究センター

◆プログラム◆

●平成15年10月14日午後

1　14:00-14:30
低リーク、高移動度HfSiONゲートを実現する界面制御技術
○ 井上　真雄、水谷　斉治、野村　幸司、由上　二郎、土本　淳一、大野　吉和、米田　昌弘（�潟泣lサス テクノロジ）

2　14:30-15:00
原子状酸素を用いた酸化処理による強誘電体STN薄膜の特性改善
○磯貝達典、高橋一郎、桜井弘之、後藤哲也、平山昌樹、寺本章伸、須川成利、大見忠弘（東北大学）

3　15:00-15:30
メモリテストシステムにおける高速・超低BERインターコネクション
○岡安俊幸（�潟Aドバンテスト)

4　15:45-16:15
SPAを用いたラジカル酸化プロセスの応用
○小林岳志、古井真悟、北川淳一、尾崎成則東京エレクトロンAT�梶j

5　16:15-16:45
シリコンのラジカル酸化および熱酸化法により形成した構造遷移層中の電子の脱出深さ
○ 岡本英介（武蔵工業大学）、東和文（液晶先端技術開発センター）、品川盛治、吉田徹史、野平博司（武蔵工業大学）、池永英司（高輝度光科学研究センター）、高田恭孝（理化学研究所）、小林啓介（高輝度光科学研究センター）、辛埴（理化学研究所）、服部健雄（武蔵工業大学）

6　16:45-17：15
ラジカル窒化酸化膜におけるNの深さ分布と結合状態の制御
○ 河瀬和雅（三菱電機�梶j、井上真雄、辻川真平、赤松泰彦（�潟泣lサステクノロジ）、 寺本章伸、大見忠弘（東北大学）

7　17:15-17:45
プラズマ窒化によるシリコン酸窒化膜のＸ線光電子分光
○ 品川盛治（武蔵工業大学）、生田哲也、堀充明、加勢正隆（富士通株式会社）、　岡本英介、吉田徹史、野平博司、服部健雄（武蔵工業大学）

18:00-20:00 懇親会

●平成15年10月15日午前

1　9:30-10:00
Fe添加による(Ba,Sr)TiO3膜薄膜化に伴う誘電率低下の抑制効果
○ 今井馨太郎（東北大学）

2　10:00-10:30
低エネルギーSi、Geビーム照射によるシリコン表面極浅領域のアモルファス化シミュレーション
○ 増田　剛、坪井秀行、古山通久（東北大学）、久保百司（東北大学、科学技術振興機構さきがけ）、宮本　明（東北大学）

3　10:30-11:00
ハイブリッド量子分子動力学法による低エネルギーボロン注入ダイナミクスの解明
○ 佐川藍、 佐藤未季、伊賀英樹、 篠田克己、坪井秀行、古山通久（東北大学）、久保百司（東北大学、科学技術振興機構さきがけ）、今村詮（広島国際学院大学）、宮本明（東北大学）

4　11:00-11:30
電場下での大規模ダイナミクスシミュレーションを可能とするキネティック モンテカルロ法の開発
○ 久保百司（東北大学、科技振さきがけ）、黒川　仁、坪井秀行、古山通久、宮本　明（東北大学）

5　11:30-12:00
高速化量子分子動力学法による大規模Si系のバンド計算
○　坪井秀行、古山通久（東北大学）、久保百司（東北大学、科技振さきがけ）、 宮本明（東北大学）

●平成15年10月15日午後

6　13:00-13:30
MOSFETにおける低周波ランダムテレグラフ雑音および１／ｆ雑音の挙動
○ 戸板真人（旭化成マイクロシステム�梶j

7　13:30-14:00
シリコン表面の化学反応性に関する量子化学的検討
○千葉景子、坪井秀行、古山通久（東北大学）、久保百司（東北大学大学、科学技術振興機構さきがけ）、二井啓一、寺本章伸、大見忠弘、宮本明（東北大学）

8　14:00-14:30
シリコン表面の自然酸化抑制
○ 赤堀浩史、二井啓一、塚本和巳、寺本章伸、大見忠弘(東北大学)

9　14:45-15:15
Excited State Study of Europium Compounds using Quantum Chemical Metho
○ Govindasamy Agalya、Chen Lv 、Hideyuki Tsuboi、Michihisa Koyama（Tohoku University）、Momoji Kubo（Tohoku Univeristy、PRESTO, Japan Science and Technology Agency）、Akira Miyamoto（Tohoku University）

10　15:15-15:45
Accelerated Quantum Chemical Molecular Dynamics Study on the Properties　of Organic Light-Emitting Diodes
○ 呂　晨、王　小晶、Agalya Govindasamy、坪井秀行、古山通久（東北大学)、久保百司（東北大学、科学技術振興機構さきがけ）、宮本明（東北大学）

11　15:45-16:15
高速化量子分子動力学法によるケミカルメカニカルポリッシングプロセスの 電子・原子レベルシミュレーション
○古山通久、Rajendran Arivaz、坪井秀行(東北大学）、久保百司（東北大学、科技振さきがけ）、宮本　明（東北大学）

12　16:15-16:45
半導体・平板ディスプレイとそれらの製造設備用樹脂材料の分解抑制
○日高 敦志 、山下　哲 、石井 秀和、北野 真史、棚橋 直樹、白井 泰雪 、大見 忠弘 （東北大学 ）

【お問い合わせ先】
寺本章伸(東北大学未来科学技術共同研究センター）

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