*********** テーマ ***********
　強誘電体薄膜とメモリ応用
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日時　3月14,15日(木,金)
　　　3月14日(木) 10:30 - 16:50
　　　　　(フロンティア棟見学会と懇親会があります)
　　　3月15日(金)  9:15 - 12:15

会場　東京工業大学すずかけ台キャンパス(旧 長津田キャンパス)
　　　総合研究館 大会議室 (〒226-8503 横浜市緑区長津田町)
　　　キャンパス地図は下記，WEBの<総研地区>をクリック
　　　http://www.titech.ac.jp/maps/nagatsuta/index-j.html

アクセス　東急田園都市線すずかけ台下車 徒歩5分
　　　詳細　http://www.titech.ac.jp/maps/index-j.html

*********** プログラム ***********

3月14日(木)
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１．10:30-10:55
　a,b軸配向エピタキシャルBi4Ti3O12基薄膜の合成と特性評価
　○渡辺 隆之 [東工大総理工]，伊佐 寛・佐々木 敦 [東工大応セラ研]
　吉本 護・長田 実 [科技団・さきがけ]，野口 祐二・宮山 勝 [東大生産研]
　斎藤 啓介 [日本フィリップス]，鈴木 利昌・藤本 正之 [太陽誘電]
　舟窪 浩 [東工大総理工]
２．10:55-11:20
　フラッシュランプを用いた新しいＰＺＴ膜結晶化技術
　○山川 晃司・今井 馨太郎・有隅 修 [(株)東芝セミコンダクター社]
　吉岡 正樹・大和田 樹志 [ウシオ電機(株)]
　奥村 克弥 [東京大学]
３．11:20-11:45
　MOCVD法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の低温成長と核付けが及ぼす効果
　○岡庭 守・藤沢 浩訓・清水 勝・丹生 博彦 [姫工大工学部]
４．11:45-12:10
　水熱法によるPZTとBaTiO3の低温作製
　○魏 志強・野田 実・奥山 雅則 [阪大院基礎工学研究科]
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　昼食　  12:10-13:00
　見学会  13:00-14:00　フロンティア研究棟
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５．14:10-14:35
　La置換および空孔導入によるSrBi2Ta2O9の低抗電界化
　?Defect Engineering による分極特性制御?
　○宮山 勝・野口 祐二 [東大生研]
６．14:35-15:00
　Bi4Ti3O12薄膜組成によるMFIS構造の特性
　○山口 正樹・長友 隆男 [芝工大工学部]
　増田 陽一郎[八戸工業大学]
７．15:00-15:25
　強誘電体ＢＬＴと高誘電率バッファ層を用いたMFMIS構造の作製と評価
　○鈴木 卓哉・徳光 永輔 [東工大精密工学研]
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　休憩　  15:25-15:40
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８．15:40-16:05
　1T2C型強誘電体メモリの作製及び評価
　○小笠原 悟・石原 宏[東工大フロンティア研]
９．16:05-16:50【招待講演】
　エンベデットFRAMの技術動向
　大谷 成元 [(株)富士通研究所]
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　懇親会　17:00-
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3月15日(金)
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１． 9:15- 9:40
　不揮発性強誘電体ラッチ回路の新構成法と低電圧動作解析
　○山本 修一郎・井上 進・石原 宏 [東工大フロンティア研]
２． 9:40-10:05
　分極緩和を考慮したFeRAM非線形信頼性予測モデル
　○井上 尚也・林 喜宏 [NECシリコンシステム研]
３．10:05-10:30
　PZT薄膜の90°ドメイン構造のTEM観察
　○木口 賢紀・脇谷 尚樹・篠崎 和夫・水谷 惟恭 [東工大共通施設]
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　休憩　  10:30-10:40
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４．10:40-11:25【招待講演】
　サイトエンジニアリングコンセプトを用いたBi4Ti3O12基薄膜特性の設計
　舟窪 浩 [東工大総理工]
５．11:25-11:50
　スパッタ法で成膜したSBT薄膜の強誘電性評価
　○中山 徳行・高梨 昌二・高塚 裕二 [住友金属鉱山(株)中央研究所]
６．11:50-12:15
　AFMによるBi系強誘電体薄膜における自発分極配向の画像化
　○符 徳勝・鈴木 一行・加藤 一実 [産総研セラミックス研究部門]

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☆ 研究会今後の予定  〔  〕内発表申込締切日
4月16日(火),17日(水),18日(木)
　「有機ELおよび関連有機材料, 低温poly-SiとTFT技術」
　九州工業大学 (ED,OME研究会共催) [2月中旬]
5月23日(木),24日(金)
　「結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料)」
　名古屋大学 (ED,CPM研究会共催) [3月中旬]

※ 詳しくは，http://www.ieice.org/~sdm/jpn/index.htmlで。

【発表申込・問合先】
    木本恒暢（京都大学）
    TEL(075)753-5341，FAX(075)753-5342
    E-mail：kimoto@kuee.kyoto-u.ac.jp
　　大野守史（MIRAIプロジェクト）
　　TEL(0298)61-5251，FAX(0298)61-5476
    E-mail：morifumi.oono@aist.go.jp