情報・システム-画像工学(開催日:2017/02/06)

タイトル/著者/発表日/資料番号
[招待講演]Impact of Dry Process Damage on Chemical Mechanical Planarization with Cu/low-k Structure

小寺 雅子(東芝),  矢野 博之(東芝),  宮下 直人(東芝),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-139
[招待講演]超長期保管メモリ・システムの必要性とその課題

小林 敏夫(芝浦工大),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-142
[招待講演]低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成

中塚 理(名大),  渡部 佳優(東京エレクトロン),  鈴木 陽洋(名大),  西 義雄(Stanford大),  財満 鎭明(名大),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-141
[招待講演]湿式法によるスルーホール付きガラス基板への直接銅めっき

井上 浩徳(江東電気),  高山 昌敏(江東電気),  藤村 翼(江東電気),  鬼武 重雄(江東電気),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-146
[招待講演]低電力FPGAを実現するビアスイッチ技術を用いた大規模クロスバースイッチの実証

伴野 直樹(NEC),  多田 宗弘(NEC),  岡本 浩一郎(NEC),  井口 憲幸(NEC),  阪本 利司(NEC),  波田 博光(NEC),  越智 裕之(立命館大),  小野寺 秀俊(京大),  橋本 昌宜(阪大),  杉林 直彦(NEC),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-144
[招待講演]モノリシック三次元インバータにおける積層トランジスタの電気的結合とその層間絶縁膜厚依存性

服部 淳一(産総研),  福田 浩一(産総研),  入沢 寿史(産総研),  太田 裕之(産総研),  前田 辰郎(産総研),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-143
[招待講演]ビアラスト型TSVの高留まり化のためのウエット洗浄プロセスの開発

渡辺 直也(産総研),  菊地 秀和(ラピス),  柳澤 あづさ(ラピス),  島本 晴夫(産総研),  菊地 克弥(産総研),  青柳 昌宏(産総研),  中村 彰男(ラピス),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-145
[招待講演]ALDプロセスによるULSI用高品質金属薄膜の作製

霜垣 幸浩(東大),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]SDM2016-140
[招待講演]先端LSI配線におけるライナー・バリア機能を有する非晶質コバルト合金の特性

マリャムサダット ホセイニ(東北大),  小出 紘之(東北大),  渡辺 和樹(東北大),  安藤 大輔(東北大),  須藤 祐司(東北大),  小池 淳一(東北大),  

[発表日]2017-02-06
[資料番号]