エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日：2000/04/14)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2000/4/14
[資料番号]
目次

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[発表日]2000/4/14
[資料番号]
高品質多結晶シリコン薄膜の形成技術とその電気的特性

鮫島 俊之,  

[発表日]2000/4/14
[資料番号]ED2000-10,SDM2000-10
多結晶シリコン膜における結晶粒界のデバイスシミュレーション

木村 睦,  東 清一郎,  鮫島 俊之,  

[発表日]2000/4/14
[資料番号]ED2000-11,SDM2000-11
ラマン分光による低温poly-Si中の応力、欠陥、水素の評価

北原 邦紀,  

[発表日]2000/4/14
[資料番号]ED2000-12,SDM2000-12
ELA法により形成したpoly-Si薄膜の回復・再結晶を考慮した成長モデル : 転位論に基づいて

松尾 直人,  浜田 弘喜,  

[発表日]2000/4/14
[資料番号]ED2000-13,SDM2000-13
エキシマレーザ結晶化ポリシリコンの移動度限界

原 明人,  佐々木 伸夫,  

[発表日]2000/4/14
[資料番号]ED2000-14,SDM2000-14
ELA法により形成されたpoly-Si薄膜のグレインの変化

河本 直哉,  田口 亮平,  松尾 直人,  綾 洋一郎,  納田 朋幸,  浜田 弘喜,  

[発表日]2000/4/14
[資料番号]ED2000-15,SDM2000-15
[OTHERS]

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[発表日]2000/4/14
[資料番号]