エレクトロニクス-電子デバイス(開催日：1994/09/13)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]1994/9/13
[資料番号]
目次

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[発表日]1994/9/13
[資料番号]
幾何光学的回折理論(GTD)を用いたマスク補助パタン設計法の提案

竹内 良亘,  原田 勝征,  安藤 真,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-46,SDM94-83,VLD94-43
希釈ウェット雰囲気中のシリコン熱酸化モデルの検討

黒田 茂樹,  山手 正浩,  西 謙二,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-47,SDM94-84,VLD94-44
応力依存の粘性係数を考慮した粘弾性酸化シミュレーションの安定解法

内田 哲也,  小谷 教彦,  坪内 夏朗,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-48,SDM94-85,VLD94-45
SOI構造における酸化膜/シリコン界面への燐のパイルアップ現象とnウェル濃度シミュレーション

佐藤 芳之,  今井 和雄,  荒井 英輔,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-49,SDM94-86,VLD94-46
イオン注入後の熱処理による転位ループ成長とボロン再分布の検討

上沢 兼一,  内田 尚志,  池澤 健夫,  羽根 正巳,  松木 武雄,  加藤 治男,  石田 宏一,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-50,SDM94-87,VLD94-47
蓄積拡散長を用いた高速三次元不純物分布シミュレーション

蒲原 史朗,  菅谷 正弘,  松尾 仁司,  井原 茂男,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-51,SDM94-88,VLD94-48
3次元形状不純物統合化プロセスシミュレータ

藤永 正人,  國清 辰也,  内田 哲也,  加門 和也,  小谷 教彦,  坪内 夏朗,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-52,SDM94-89,VLD94-49
モンテカルロ法によるスパッタ装置シミュレーション

山田 裕明,  新村 俊樹,  太田 敏行,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-53,SDM94-90,VLD94-50
複雑な形状を有するMOSデバイス解析に適した三角形メッシュ生成方法

横田 郁宏,  熊代 成孝,  

[発表日]1994/9/13
[資料番号]ED94-54,SDM94-91,VLD94-51
[OTHERS]

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[発表日]1994/9/13
[資料番号]