研究会 |
発表日時 |
開催地 |
タイトル・著者 |
抄録 |
資料番号 |
ED, SDM, CPM (共催) |
2024-05-24 16:40 |
北海道 |
北海道大学クラーク会館(札幌キャンパス) (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
AlGaN/GaNヘテロ構造に対するコンタクトレス光電気化学(CL-PEC)エッチングの制御と応用 ○沖 勇吾・塩澤直生・富樫拓也・佐藤威友(北大) |
(ご登録済みです.開催日以降に掲載されます) [more] |
|
MW, WPT (共催) |
2024-04-18 13:40 |
神奈川 |
神奈川大学 横浜キャンパス (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
エアブリッジ構造を用いたスタブ型ローパスフィルタの設計と製作に関する一検討 八木美雛・○草間裕介(東洋大) WPT2024-3 MW2024-3 |
マイクロストリップラインを用いたオープンスタブ型ローパスフィルタの設計では,インダクタンス部分の線路幅がエッチング製作不... [more] |
WPT2024-3 MW2024-3 pp.12-17 |
SDM |
2024-02-21 10:45 |
東京 |
東京大学 本郷 工4号館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]量子ビット制御用低温SoC向け、超伝導Nb配線の開発 ○沼田秀昭・井口憲幸(NBS)・田中雅光(名大)・岡本浩一郎・三浦貞彦(NBS)・内田 建(東大)・石黒仁揮(慶大)・阪本利司・多田宗弘(NBS) SDM2023-82 |
量子ビット制御用低温SoC応用に向けて,300mmウェハプロセスにコンパチブルな100nm幅の超伝導Nb配線技術を開発し... [more] |
SDM2023-82 pp.4-8 |
CPM, ED, SDM (共催) |
2023-05-19 16:30 |
愛知 |
名古屋工大 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
n型GaN基板上に形成されたp型GaN層に対する低損傷光電気化学エッチングとその電気化学的評価 ○髙津 海・久保広太・佐藤威友(北大) ED2023-7 CPM2023-7 SDM2023-24 |
意図的にダメージを与えたp-GaN表面に対する光電気化学(PEC)エッチングの効果を調査した.n-GaN基板上に形成され... [more] |
ED2023-7 CPM2023-7 SDM2023-24 pp.28-31 |
HWS |
2023-04-15 10:45 |
大分 |
湯布院公民館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
胎動回路のPUF応用 ○成瀬厚太郎・上田貴之・塩見 準・御堂義博・三浦典之(阪大) HWS2023-12 |
本論文では, コンピュータを動作させるための未開拓のエネルギー場として, 半導体製造工程で利用される高エネルギーのプラ... [more] |
HWS2023-12 pp.49-50 |
SDM |
2023-02-07 10:45 |
東京 |
東京大学 武田ホール (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]先端3D構造ロジック・メモリデバイスにおける原子層等方加工技術 ○大竹浩人(日立ハイテクノロジーズ) SDM2022-86 |
2nm以降のLogicデバイスや100層以上のNANDデバイスにおいて、原子層等方加工技術(Isotropic Atom... [more] |
SDM2022-86 pp.5-8 |
ED |
2022-12-09 16:00 |
愛知 |
12/8 名大,12/9 ウインク愛知(会場は「詳細はこちら」を参照ください) |
電界誘起水及び酸素エッチングによるタングステン針からの特異な電子放出 ○稲葉雪乃・壁谷 桜・森岡咲帆・脇 彩花・吉田真子・國枝夕夏・村田英一・六田英治(名城大) ED2022-69 |
電界誘起酸素エッチングと呼ばれる真空中処理によりタングステン(W)針を先鋭化する試みがなされ、原子スケール終端をもつ収束... [more] |
ED2022-69 pp.62-63 |
OME |
2022-11-11 13:50 |
大阪 |
近畿大学東大阪キャンパス ブロッサムカフェ ルームA |
導電糸人工筋肉の熱処理条件の検討と動作特性の評価 ○植山洸希・多田和也(兵庫県立大) OME2022-26 |
導電糸をコイリングして作製する人工筋肉は収縮動作中のコイル間の接触が電流の短絡を起こし、量産時に個体によって動作特性にば... [more] |
OME2022-26 pp.7-11 |
PN |
2022-11-07 14:35 |
高知 |
高知城歴史博物館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]異方性エッチングを用いた二段導波路型スポットサイズ変換器 ○田中 肇(住友電工)・山日竜二(住友電工デバイス・イノベーション)・北村崇光(住友電工デバイス・イノベーション/住友電工)・堀野和彦(住友電工デバイス・イノベーション)・石川 務(住友電工)・江川 満(住友電工デバイス・イノベーション/住友電工) PN2022-25 |
年々増加する通信量に対応するため,コヒーレント通信は従来の遠距離通信から都市間・都市内やデータセンターなどの中~近距離に... [more] |
PN2022-25 pp.22-27 |
OPE, OCS, LQE (共催) |
2022-10-20 16:35 |
愛媛 |
松山市民会館 小ホール (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
ハイメサセンシング導波路と集積したナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタ ○嶋村雄太・桒畑亮太・山内健生・キム ユンジン(九大)・田部井哲夫(広島大)・姜 海松・浜本貴一(九大) OCS2022-24 OPE2022-70 LQE2022-33 |
光集積回路を用いた小型呼気センシングシステムの研究開発を進めている。特にppmオーダーと微量の呼気中病気マーカー検出のた... [more] |
OCS2022-24 OPE2022-70 LQE2022-33 pp.40-44 |
LSJ (共催) OCS, OFT (併催) [詳細] |
2022-08-26 10:00 |
ONLINE |
オンライン開催 |
空孔アシスト光ファイバの空孔エッチング量と損失特性の考察 ○大本航平(NTT)・辻川恭三(NTT-AT)・松井 隆・中島和秀(NTT) OFT2022-11 |
空孔構造光ファイバの損失低減には,母材穿孔時に生じる破砕層のエッチング処理が有効であることが報告されている.今回,穿孔後... [more] |
OFT2022-11 pp.28-31 |
SDM, ED, CPM (共催) |
2022-05-27 16:15 |
ONLINE |
オンライン開催 |
電気化学反応を利用した窒化ガリウムのウェットエッチングと機能性材料 ○佐藤威友・渡久地政周(北大) ED2022-13 CPM2022-7 SDM2022-20 |
電気化学反応を利用したウェットエッチング(電気化学エッチング)により,窒化ガリウム(GaN)多孔質構造を形成した.GaN... [more] |
ED2022-13 CPM2022-7 SDM2022-20 pp.25-28 |
ED, CPM, LQE (共催) |
2021-11-26 16:25 |
ONLINE |
オンライン開催 |
光電気化学エッチング法を用いたAlGaInN/AlGaN HFETの作製 ○伊藤滉朔・小松祐斗・渡久地政周(北大)・井上暁喜・田中さくら・三好実人(名工大)・佐藤威友(北大) ED2021-35 CPM2021-69 LQE2021-47 |
低損傷加工技術である光電気化学(PEC)エッチング法を,AlGaInN/AlGaN MIS HFETのゲートリセス加工に... [more] |
ED2021-35 CPM2021-69 LQE2021-47 pp.91-94 |
SIS, ITE-BCT (連催) |
2021-10-08 10:50 |
ONLINE |
オンライン開催 |
SfMのための画像輝度補正に関する一検討 ○高橋一彰・藤吉正明(都立大) SIS2021-18 |
本稿は,多数の写真による写真セットから三次元モデルを生成するStructure from Motion (SfM)への,... [more] |
SIS2021-18 pp.42-47 |
MW |
2021-05-20 13:30 |
ONLINE |
オンライン開催 |
短ミリ波帯PTFE基板集積導波管バトラーマトリクスの試作・評価 ○岸原充佳(岡山県立大)・藤谷海斗・山口明啓・内海裕一・太田 勲(兵庫県立大) MW2021-6 |
放射光直接エッチングによりPTFEの直接加工を行い,表面に金属膜を付加することでPTFE基板集積導波管を形成するプロセス... [more] |
MW2021-6 pp.5-10 |
CPSY, DC (共催) IPSJ-ARC (連催) [詳細] |
2020-07-30 11:00 |
ONLINE |
オンライン開催 |
プリフェッチ距離の性質に着目した命令プリフェッチャ ○中村朋生・小泉 透・出川祐也・入江英嗣・坂井修一・塩谷亮太(東大) CPSY2020-1 DC2020-1 |
命令キャッシュミスやbranch target buffer (BTB)ミスは近年のアプリケーションにおける性能上のボト... [more] |
CPSY2020-1 DC2020-1 pp.1-8 |
NS, IN (併催) |
2020-03-05 09:50 |
沖縄 |
Royal Hotel 沖縄残波岬 (開催中止,技報発行あり) |
キャッシュ存在下におけるDASHコンテンツのセグメント先読みアルゴリズムに関する一考察 ○山本瑶司・小泉佑揮・長谷川 亨(阪大) NS2019-183 |
ネットワーク内キャッシュ存在下で Dynamic Adaptive Streaming over HTTP (DASH)... [more] |
NS2019-183 pp.37-42 |
ED, MW (共催) |
2020-01-31 11:45 |
東京 |
機械振興会館 地下3階6号室 |
コンタクトレス光電気化学(PEC)エッチングを用いたリセスゲートHEMTの作製 ○堀切文正・福原 昇(サイオクス)・渡久地政周・三輪和希(北大)・成田好伸・市川 磨・磯野僚多・田中丈士(サイオクス)・佐藤威友(北大) ED2019-98 MW2019-132 |
GaNは化学的に安定であるが、光電気化学(PEC)反応を用いる事で、低損傷な加工が可能である。通常、PEC反応を用いたエ... [more] |
ED2019-98 MW2019-132 pp.25-28 |
SDM |
2019-10-23 13:30 |
宮城 |
東北大学未来情報産業研究館5F |
[招待講演]プラズマを用いた原子層エッチング(ALE) ○熊倉 翔・木原嘉英・本田昌伸(東京エレクトロン宮城) SDM2019-53 |
Atomic layer etching (ALE)は、エッチングプロセスにおける吸着過程と反応過程を分離し、それぞれの... [more] |
SDM2019-53 pp.1-6 |
PN, EMT, OPE, EST, MWP, LQE (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2019-01-17 11:40 |
大阪 |
大阪大学中之島センター |
フォトニック結晶CirDレーザに向けた深掘ドライエッチングに関する研究 ○曽 理・溝口 舜・張 秀宇・竹内健斗・梶井博武・森藤正人・丸田章博・近藤正彦(阪大) PN2018-35 EMT2018-69 OPE2018-144 LQE2018-154 EST2018-82 MWP2018-53 |
本研究では円形共振器(CirD)フォトニック結晶レーザを作製するために,レジストマスクを用いてInAs量子ドットを含むG... [more] |
PN2018-35 EMT2018-69 OPE2018-144 LQE2018-154 EST2018-82 MWP2018-53 pp.23-26 |