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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
10:30
沖縄 沖縄県青年会館 O2混合Arスパッタにより室温成膜したSiO2膜の電気特性評価
井村公彦・○岡田竜弥下田清治杉原弘也野口 隆琉球大SDM2014-13 OME2014-13
フレキシブルディスプレイの作製において,良質の絶縁膜をプラスチックなどの低耐熱性基板上に形成することが求められる.本研究... [more] SDM2014-13 OME2014-13
pp.55-57
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
10:50
沖縄 沖縄県青年会館 BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT
下田清治杉原弘也井村公彦岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-14 OME2014-14
低コストでの製造プロセスによるpoly-Si TFTは、ガラス上およびフレキシブルパネルに必要とされている。本研究では、... [more] SDM2014-14 OME2014-14
pp.59-61
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
11:10
沖縄 沖縄県青年会館 ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性
コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ知念 怜杉原弘也岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-15 OME2014-15
ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール(BLDA)を施したSi膜の光伝導性につ... [more] SDM2014-15 OME2014-15
pp.63-65
SCE 2014-01-24
09:30
東京 機械振興会館地下3階2号室 超伝導ギャップ内準粒子の超伝導共振器の特性に及ぼす効果
野口 卓国立天文台)・成瀬雅人埼玉大)・関根正和東大)・唐津謙一関本裕太郎国立天文台SCE2013-46
超伝導ギャップ内状態を占有する準粒子の存在を仮定した理論を提案し、超伝導体の表面抵抗の過剰成分や超伝導共振器のQ値のの解... [more] SCE2013-46
pp.67-72
SCE 2014-01-24
09:55
東京 機械振興会館地下3階2号室 積層型超伝導共振器を用いた検出器の開発 ~ Q値の温度依存性 ~
関根正和関本裕太郎東大)・野口 卓宮地晃平唐津謙一国立天文台)・新田冬夢筑波大)・関口繁之岡田 隆国立天文台)・成瀬雅人埼玉大SCE2013-47
我々は、宇宙マイクロ波背景放射観測衛星LiteBIRDや南極望遠鏡に搭載するミリ波、サブミリ波を直接検出する超伝導共振器... [more] SCE2013-47
pp.73-77
SDM 2013-12-13
13:00
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 [招待講演]BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用
野口 隆岡田竜弥琉球大SDM2013-125
 [more] SDM2013-125
pp.55-59
SDM 2013-12-13
13:50
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 軟X線源を用いたSi中B原子の低温活性化技術の開発
部家 彰草壁 史丸山裕樹松尾直人神田一浩兵庫県立大)・野口 隆琉球大SDM2013-127
10nm程度の極浅接合形成のため、アンジュレータ光源を用いた軟X線照射によるSi中B不純物の低温活性化について検討した。... [more] SDM2013-127
pp.67-72
SCE 2013-10-02
14:55
宮城 東北大学・電気通信研究所 宇宙マイクロ波背景放射(CMB)精密観測のための多素子超伝導共振器(MKID)カメラの開発
唐津謙一国立天文台)・成瀬雅人埼玉大)・新田冬夢筑波大)・関根正和関口繁之岡田 隆東大)・関本裕太郎国立天文台/東大)・野口 卓鵜澤佳徳松尾 宏木内 等国立天文台SCE2013-23
国立天文台・先端技術センターでは,宇宙マイクロ波背景放射(Cosmic Microwave Background,以下C... [more] SCE2013-23
pp.21-25
SCE 2013-07-22
14:20
東京 機械振興会館地下3階2号室 積層ハイブリッド型超伝導共振器カメラの開発
関根正和東大)・関本裕太郎野口 卓宮地晃平唐津謙一国立天文台)・新田冬夢筑波大)・関口繁之東大)・成瀬雅人埼玉大
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:15
沖縄 沖縄県青年会館 Crystallization of a-Si Films with Smooth Surface Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing
Tatsuya OkadaJean de Dieu MugiranezaKatsuya ShiraiTakuma NishinoharaTomoyuki MukaeKeisuke YagiTakashi NoguchiUniv. Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:30
沖縄 沖縄県青年会館 Characterization of Optimized Sputtered Poly-Si Films by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing for High Performance Displays
Takuma NishinoharaJ. D. MugiranezaKatsuya ShiraiTatsuya OkadaTakashi NoguchiUniv. of the Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:45
沖縄 沖縄県青年会館 Effective Annealing of Si Films as an advanced LTPS
Takashi NoguchiTakuma NishinoharaJean de Dieu MugiranezaKatsuya ShiraiTatsuya OkadaUniv. Ryukyus
 [more]
ED, SDM, CPM
(共催)
2012-05-18
14:50
愛知 豊橋技術科学大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー スパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成と評価
丹羽彬夫以西雅章中村光宏野口貴史静岡大ED2012-37 CPM2012-21 SDM2012-39
RFマグネトロンスパッタリング法により,Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している.本研究では,様々な条件で薄... [more] ED2012-37 CPM2012-21 SDM2012-39
pp.99-104
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
16:30
沖縄 沖縄県青年会館 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化
岡田竜弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ白井克弥鈴木俊治野口 隆琉球大)・松島英紀橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-8 OME2012-8
色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶... [more] SDM2012-8 OME2012-8
pp.37-39
SDM, OME
(共催)
2012-04-28
11:30
沖縄 沖縄県青年会館 RFスパッタ法により製膜したSiO2及びSiN薄膜の電気特性評価
屋宜佳佑岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2012-17 OME2012-17
RFスパッタリングによってSi基板上にSiO2、SiN膜を100 nm製膜した。その後、熱アニールを施し、アニール前後の... [more] SDM2012-17 OME2012-17
pp.75-77
SDM, OME
(共催)
2012-04-28
11:50
沖縄 沖縄県青年会館 高性能ポリシリコンTFTに向けたスパッタ成膜したリンドープシリコン膜の結晶化
西ノ原拓磨ジャン デデュウ ムジラネザ白井克弥鈴木俊治岡田竜弥野口 隆琉球大)・大鉢 忠同志社大)・松島英紀橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-18 OME2012-18
スパッタ条件を工夫して室温で成膜したリンドープシリコン膜に対して, 青色半導体レーザアニーリング(BLDA)による熱処理... [more] SDM2012-18 OME2012-18
pp.79-82
SCE 2011-07-13
13:50
東京 機械振興会館 超伝導トンネル接合を用いたマイクロ波・ミリ波帯雑音源の開発
井上裕文東大)・野口 卓国立天文台)・河野孝太郎東大SCE2011-5
マイクロ波帯における低雑音冷却増幅器の正確な特性評価を目的として, 超伝導トンネル接合で生じるショットノイズを利用した雑... [more] SCE2011-5
pp.23-28
ED, SDM
(共催)
2010-07-02
10:00
東京 東工大 大岡山キャンパス レーザー、熱アニーリング後のドープSi膜の電気的活性化
野口 隆・○鈴木俊治琉球大ED2010-85 SDM2010-86
ドープしたアモルファスSi膜に対して、RTA、レーザーアニールを施し有効な結晶化を行った。得られた膜の電気的(4探針法、... [more] ED2010-85 SDM2010-86
pp.149-153
SDM, OME
(共催)
2010-04-23
11:40
沖縄 沖縄県青年会館 a-Si、c-Si薄膜pinフォトセンサのi層長さ依存性に関するシミュレーション
坂本明典野口 隆琉球大)・大鉢 忠同志社大)・大城文明ジョン デ ディウ ムジラネザ琉球大SDM2010-5 OME2010-5
水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)と単結晶シリコン(c-Si)のPINフォトセンサにおいて、光電流の照射強度とi... [more] SDM2010-5 OME2010-5
pp.19-22
SDM, OME
(共催)
2010-04-23
13:30
沖縄 沖縄県青年会館 Poly-Si TFTのS値としきい値に対するグレインサイズの影響
大城文明坂本明典野口 隆琉球大)・大鉢 忠同志社大SDM2010-7 OME2010-7
グレインサイズを用いたポリSi膜の欠陥モデルを提案する。TFTにおいて、ポリSiのグレインサイズは重要なパラメータの1つ... [more] SDM2010-7 OME2010-7
pp.29-32
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