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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| ED, SDM, CPM (共催) |
2012-05-18 15:15 |
愛知 | 豊橋技術科学大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー | TiO2薄膜の光触媒特性向上のための助触媒効果 ○以西雅章・中村郁太・稗田祐貴・深澤史也（静岡大）・星 陽一（東京工芸大）  ED2012-38 CPM2012-22 SDM2012-40 |
あらまし 本研究は、RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に銅と鉄を助触媒として担持することで光触... [more] | ED2012-38 CPM2012-22 SDM2012-40 pp.105-109 |
| CPM | 2011-10-26 13:50 |
福井 | 福井大学 産学官連携本部研修室 | RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2011-111 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法（低電圧スパッタ法）に注目し，この方法により室温にてAZ... [more] | CPM2011-111 pp.11-15 |
| SDM | 2011-10-20 15:20 |
宮城 | 東北大学未来研 | Effect of Si surface roughness on electrical characteristics of HfON gate insulator ○Dae-Hee Han・Shun-ichiro Ohmi（Tokyo Inst. of Tech.） SDM2011-100 |
[more] | SDM2011-100 pp.17-20 |
| US | 2011-09-27 10:25 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス多層膜の評価 ○荒川元孝・櫛引淳一（東北大）・伊藤和彦・江藤和幸（日本航空電子） US2011-56 |
直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを超高フィネス光キャビティー用多層膜の評価に適用した。RFイオンビ... [more] | US2011-56 pp.53-57 |
| CPM | 2011-08-11 09:25 |
青森 | 弘前大学 文京町キャンパス | RFマグネトロンスパッタ法によるAZO透明導電膜の作製 ○梅原 猛・野毛 悟（沼津高専） CPM2011-67 |
RFマグネトロンスパッタ法によるAZO薄膜の成膜条件に関する検討結果について報告する．放電ガスAr中に反応性ガス$O_2... [more] | CPM2011-67 pp.55-60 |
| SDM | 2011-07-04 16:20 |
愛知 | 名古屋大学（ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー） | RFスパッタ形成したSi酸化膜を用いたMIMキャパシタの抵抗変化特性 ○大田晃生・後藤優太・西垣慎吾・Guobin Wei・村上秀樹・東 清一郎（広島大）・宮崎誠一（名大） SDM2011-67 |
RFスパッタにより形成したSiOx (厚さ：8~40nm)をPt電極で挟んだMIMキャパシタにおいて、電圧掃引による電流... [more] | SDM2011-67 pp.97-102 |
| EMD, CPM, OME (共催) |
2011-06-30 16:55 |
東京 | 機械振興会館 | 低電圧スパッタ法を用いた室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法と，ターゲットの焼結温度に注目し，高エネルギー粒子が膜に... [more] | EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 pp.59-63 |
| CPM, SDM, ED (共催) |
2011-05-20 13:50 |
愛知 | 名古屋大学 ＶＢＬ | TiO2薄膜への安定した白金担持と光触媒特性 ○中村郁太・佐藤孝紀・以西雅章（静岡大）・星 陽一（東京工芸大） ED2011-28 CPM2011-35 SDM2011-41 |
RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に白金を担持させ、光触媒特性を比較・評価した。白金を助触媒と... [more] | ED2011-28 CPM2011-35 SDM2011-41 pp.139-143 |
| CPM, SDM, ED (共催) |
2011-05-20 14:15 |
愛知 | 名古屋大学 ＶＢＬ | スパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成と評価 ○中村光宏・丹羽彬夫・以西雅章（静岡大） ED2011-29 CPM2011-36 SDM2011-42 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。本研究では、様々な条件で薄... [more] | ED2011-29 CPM2011-36 SDM2011-42 pp.145-149 |
| OME | 2011-02-07 13:50 |
東京 | 機械振興会館 | スピンコートおよび高周波スパッタリングで成膜した有機薄膜を応用したQCMによる活性酸素モニタリング ○松本裕之・吉野 潔・岩崎達行・木下 忍（岩崎電気）・野田和俊（産総研）・荒井 航・岩森 暁（東海大） OME2010-70 |
ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）スピンコート膜およびPTFEをターゲット材として高周波スパッタリング法で水晶基板上... [more] | OME2010-70 pp.11-14 |
| ITE-MMS, MRIS (連催) |
2010-12-10 10:15 |
愛媛 | 愛媛大学 総合メディアセンター | RFマグネトロンスパッタリング法によりGaAs(001)基板上に作製したFe(001)薄膜の磁気特性評価 ○和田祐也・池谷浩和・高橋 豊・稲葉信幸（山形大）・桐野文良（東京藝術大）・大竹 充・二本正昭（中大） MR2010-50 |
RFマグネトロンスパッタリング法を用いてGaAs(001)基板上にFe(001)薄膜(膜厚 >= 6 nm)を成膜し，Ｘ... [more] | MR2010-50 pp.59-63 |
| US | 2010-09-29 15:40 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | LFB超音波材料解析システムによる損失のある試料に対する漏洩弾性表面波伝搬特性の測定 ○近藤貴則・大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一（東北大） US2010-54 |
表面粗さの異なるZnO多結晶薄膜／合成石英ガラス基板構造試料に対して、直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)シス... [more] | US2010-54 pp.33-37 |
| US | 2010-09-30 10:50 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ～ ○高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2010-62 |
c軸が基板面と平行かつ一方向に配向した（(11-20)面，(10-10) 面配向）ZnO薄膜を用いた共振子は横波を励振す... [more] | US2010-62 pp.75-80 |
| US | 2010-09-30 11:40 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | Ta2O5薄膜／Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製 ○土屋彰教・垣尾省司（山梨大）・中川恭彦（山梨大名誉教授） US2010-64 |
酸素ラジカル源を搭載した高周波スパッタ装置を用いて，SiO2基板上にX軸配向Ta2O5薄膜を作製し，その配向性，レイリー... [more] | US2010-64 pp.87-92 |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 10:25 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成条件の調査 ○中村光宏・以西雅章（静岡大） ED2010-26 CPM2010-16 SDM2010-26 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。本研究では、薄膜の生成条件... [more] | ED2010-26 CPM2010-16 SDM2010-26 pp.51-55 |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 11:30 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | 白金担持TiO2薄膜の生成と光触媒特性 ○中村郁太・伊藤達也・以西雅章（静岡大）・星 陽一（東京工芸大） ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28 |
本研究では, RFマグネトロンスパッタリング法により生成したTiO2薄膜に白金を担持することにより,光触媒特性の向上を図... [more] | ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28 pp.61-64 |
| ITE-MMS, MRIS (共催) |
2010-03-12 14:30 |
愛知 | 名古屋大学 | Kr+イオン照射によるMnBi薄膜の構造変化と磁気特性制御 ○徐 倩茜・加藤剛志・岩田 聡・綱島 滋（名大） MR2009-62 |
マグネトロンスパッタ成膜と350˚Cの熱処理により作成したMnBi (15 nm)膜に30 keVのKr+イオ... [more] | MR2009-62 pp.21-26 |
| EMD | 2009-12-18 14:55 |
千葉 | 千葉工業大学 津田沼キャンパス | 金属－カーボン系薄膜の電気的・機械的性質 ○松本 宏・鎌田智之・梅村 茂（千葉工大）・矢部光範（日本自動車大）・廣野 滋（MESアフティ）・丹羽 修（産総研）・刀 東風（西安交通大） EMD2009-110 |
金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として，RFスパッタ法によって成膜したNiドープ... [more] | EMD2009-110 pp.21-24 |
| OPE, OME (共催) |
2009-11-13 14:35 |
東京 | 機械振興会館 | ブラッグファイバを用いた表面プラズモン共鳴屈折率センサ ○馬 麟・片桐崇史・松浦祐司（東北大） OME2009-61 OPE2009-156 |
表面プラズモン共鳴（SPR）を利用したブラッグファイバ型屈折率センサを提案した．センサ部において，光はブラッグ多層膜によ... [more] | OME2009-61 OPE2009-156 pp.45-48 |
| CPM | 2009-10-30 09:25 |
富山 | 富山県立大学 | タングステンメッシュにより生成した高密度水素ラジカルアニールによるZnO:Al薄膜の低抵抗化 大島 穣・田原将巳・モハマド ハニフ（長岡技科大）・片桐裕則・新保和夫（長岡高専）・黒木雄一郎・高田雅介・○安井寛治（長岡技科大） CPM2009-97 |
第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法を用いて堆積したAl ドープZnO（AZO）膜を水素プラズマアニール処 理す... [more] |
CPM2009-97 pp.37-41 |
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