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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| LQE, OPE (共催) |
2013-06-21 10:35 |
東京 | 機械振興会館 | 300 mm基板上にArF液侵リソグラフィーを用いて作製したシリコンフォトニクスデバイス ○北 智洋・田主裕一朗・奈良匡樹・平野 秀（東北大）・外山宗博・関 三好・越野圭二・横山信幸・大塚 実・杉山曜宣・石塚栄一・佐野 作・堀川 剛（産総研）・山田博仁（東北大）  OPE2013-7 LQE2013-17 |
ArF液侵リソグラフィー技術を用いて300 mm SOIウェハ上にチャネル型シリコン細線導波路,方向性結合器,リング共振... [more] | OPE2013-7 LQE2013-17 pp.1-5 |
| SDM | 2009-10-29 16:45 |
宮城 | 東北大学 | SOI基板を用いたSi-MESFETの電流電圧特性 ○阿部俊幸・田主裕一朗・黒木伸一郎・小谷光司・伊藤隆司（東北大） SDM2009-122 |
微細Si-MESFETについてシミュレーションを行い、新しいゲート構造によるゲートリーク電流の低減と、ダブルゲート構造に... [more] | SDM2009-122 pp.27-30 |
| SDM | 2009-10-30 11:30 |
宮城 | 東北大学 | ヒートガスアニールによるガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化 ○田主裕一朗・河野陽輔・黒木伸一郎・小谷光司（東北大）・村 直美・山上公久・古村雄二（フィルテック）・伊藤隆司（東北大） SDM2009-128 |
ガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化のための新たな手法としてヒートガスアニール法を提案し実証した。ヒートガスアニール... [more] | SDM2009-128 pp.47-50 |
| OPE | 2007-12-14 16:30 |
東京 | 機械振興会館 | シリコンリング共振器を用いた電界駆動光変調素子 ○徳永智大・田主裕一朗・雨宮嘉照・横山 新（広島大） |
SOIウエハを用い直径20umのマルチモードシリコンリング共振器(共振波長1500nm付近)を製作した。導波路幅は0.6... [more] | OPE2007-143 pp.41-46 |
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