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★電子部品・材料研究会（CPM）
専門委員長　安井寛治 (長岡技科大)　　副委員長　竹村泰司 (横浜国大)
幹事　今井欽之 (NTT)，野毛悟 (沼津高専)
幹事補佐　島村俊重 (NTT)，阿部克也 (信州大)

日時　2010年 7月29日(木)　13：30～16：40
　　　2010年 7月30日(金)　09：30～12：10

会場「道の駅しゃり会議室」（北海道斜里郡斜里町本町37番地．JR釧網本線知床斜里駅下車徒歩３分．http://www.sharimichi.com/．北見工業大学電気電子工学科武山真弓．0152-26-8888（会場））

議題電子部品・材料，一般

7月29日(木) 午後（13：30～16：40）

(1) 13:30 - 13:55
RFスパッタリングによるCuInO2薄膜の作製と熱処理効果の検討
○小川　翼・横本拓也・林部林平・山上朋彦・阿部克也（信州大）

(2) 13:55 - 14:20
ガスフロースパッタ法によるFe3O4のGaAs上へのエピタキシャル成長
○佐久間洋志・設樂裕紀・鍵　康人・鈴木　涼・石井　清（宇都宮大）

(3) 14:20 - 14:45
室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討
○清水英彦・樫出　淳・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星　陽一（東京工芸大）

−−−　休憩　（ 10分）　−−−

(4) 14:55 - 15:20
触媒反応により生成した水分子ビームを用いたZnO結晶薄膜のエピタキシャル成長
田原将巳・三浦仁嗣・黒田朋義・西山　洋・○安井寛治（長岡技科大）

(5) 15:20 - 15:45
伝送線上のアイパターンを改善する技術の提案と実測評価
○石黒将巳・島内優希・相部範之（筑波大）・吉原郁夫（宮崎大）・安永守利（筑波大）

−−−　休憩　（ 5分）　−−−

(6) 15:50 - 16:40
［招待講演］超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス～細孔の評価と洗浄～
○近藤英一（山梨大）

7月30日(金) 午前（09：30～12：10）

(7) 09:30 - 09:55
ラジカル反応を応用したZrNx膜の低温作製
○佐藤　勝・武山真弓（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢　厚（北見工大）

(8) 09:55 - 10:20
TDEAV原料を用いたVNx膜のALD成膜
○武山真弓・佐藤　勝（北見工大）・須藤　弘・町田英明（気相成長）・伊藤　俊・青柳英二（東北大）・野矢　厚（北見工大）

(9) 10:20 - 10:45
レーザーアブレーション法によるSi基板上AlN薄膜の形成
○中澤日出樹・鈴木大樹・遲澤遼一・岡本　浩（弘前大）

−−−　休憩　（ 10分）　−−−

(10) 10:55 - 11:20
水平配向したカーボンナノチューブからの電界電子放出
斉藤裕史・山上朋彦・林部林平・大池　匠・山下将弘・○上村喜一（信州大）

(11) 11:20 - 11:45
液液界面析出したC60の光励起ポリマー形成
小出大樹・加藤翔太・池田恵理・岩田展幸・○山本　寛（日大）

(12) 11:45 - 12:10
Snをドープしたシリカガラス薄膜の可視発光特性
○望月翔太・野毛　悟（沼津高専）

一般講演：発表 20 分＋質疑応答 5 分
招待講演：発表 40 分＋質疑応答 10 分

◆後援：斜里町

☆CPM研究会今後の予定　[ ]内発表申込締切日

8月26日(木)～27日(金)　千歳アルカディアプラザ　[6月16日(水)]　テーマ：光部品・電子デバイス実装技術、一般
9月10日(金)　機械振興会館　[7月16日(金)]　テーマ：光記録技術・電子材料、一般
10月28日(木)～29日(金)　信州大学工学部地域共同研究センター３階研修室　[8月23日(月)]　テーマ：薄膜プロセス・材料，一般

【問合先】
CPM幹事補佐阿部克也（信州大学）
E-mail: abe