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★シリコン材料・デバイス研究会（SDM） 専門委員長 遠藤 哲郎 (東北大) 副委員長 奈良 安雄 (富士通マイクロエレクトロニクス) 幹事 小野 行徳 (NTT)， 大西 克典 (九工大) 幹事補佐 野村 晋太郎 (筑波大) 日時 2010年12月17日(金) 10：00～17：45 会場 京都大学桂キャンパスA1棟 地下講義室1（〒615-8510 京都市西京区京都大学桂A1．阪急桂駅(西口)からバス15分「京大桂キャンパス前」下車．http://www.kyoto-u.ac.jp/ja/access/campus/map6r_k.htm．京都大学工学研究科 木本恒暢．075-383-2300） 議題 シリコン関連材料の作製と評価 12月17日(金) 午前 （10：00～12：20） (1) 10:00 - 10:20 MOSFETのしきい値電圧および理論計算から求めた<100>Siナノワイヤのバンドギャップ ○吉岡裕典・森岡直也・須田 淳・木本恒暢（京大） (2) 10:20 - 10:40 X線検出素子（Silicon Drift Detector）用Si基板の高抵抗率化 ～ シミュレーションによる評価 ～ ○北野谷征吾・西川誠二・松浦秀治（阪電通大） (3) 10:40 - 11:00 イオンチャネリングによるホイスラー合金Fe3-xMnxSi(111)/Ge(111)ヘテロエピタキシャル界面の軸配向性の評価 ○中島孝仁・松倉武偉（京大）・鳴海一雅（原子力機構）・前田佳均（京大） (4) 11:00 - 11:20 蛍光体粉末の微粒化処理によるZnS無機ELの発光特性の改善 ○堀口昌吾・紺谷拓哉・堀田昌宏（奈良先端大）・田口信義（イメージテック）・浦岡行治（奈良先端大/JST） (5) 11:20 - 11:40 多結晶シリコン太陽電池の作製における室温レーザードーピング ○長谷川光洋・平田憲司・高山 環・舟谷友宏・冬木 隆（奈良先端大） (6) 11:40 - 12:00 結晶系シリコン太陽電池におけるドーパントプレカーサー制御によるレーザードーピングプロセスの最適化 ○舟谷友宏・平田憲司・高山 環・長谷川光洋・冬木 隆（奈良先端大） (7) 12:00 - 12:20 ナノ構造シリコンへのH2-N2プラズマ処理効果 ○渡辺晃次・須田健一・仲田英起・本橋光也（東京電機大） −−− 昼食 （ 60分 ） −−− 12月17日(金) 午後 （13：20～15：30） (8) 13:20 - 13:50 ［招待講演］ReRAMの物性評価と基本メモリ特性の制御 ○木下健太郎・依田貴稔・田中隼人・花田明紘・岸田 悟（鳥取大） (9) 13:50 - 14:10 真空中での熱処理によるPt/NiO/Pt抵抗変化素子の電気的特性変化 ○岩田達哉・西 佑介・木本恒暢（京大） (10) 14:10 - 14:30 放電電流過渡分光法を用いた高純度半絶縁性4H-SiCの欠陥評価における犠牲酸化処理の効果 ○西川誠二・北野谷征吾・松浦秀治（阪電通大） (11) 14:30 - 14:50 200keV電子線照射による4H-SiCエピ膜中の多数キャリア密度の変化 ○野尻琢慎・西野公三・柳澤英樹・松浦秀治（阪電通大）・小野田 忍・大島 武（原子力機構） (12) 14:50 - 15:10 超臨界水で酸化したSiC基板表面とその膜質評価 ○佐藤智久（阪大）・二ツ木高志・大江太郎（オルガノ）・小松直佳・木村千春・青木秀充（阪大） (13) 15:10 - 15:30 多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果 ○竹内光明・龍頭啓充・高岡義寛（京大） −−− 休憩 （ 15分 ） −−− 12月17日(金) 午後 （15：45～17：45） (14) 15:45 - 16:05 ホトルミネセンス法およびDLTS法によるシリコン極浅接合の再結晶化過程の評価 ○奥谷真士・高島周平・吉本昌広（京都工繊大）・Woo Sik Yoo（WaferMasters） (15) 16:05 - 16:25 ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGex薄膜トランジスタの開発 ○岡部泰典・近藤健二（東北学院大）・広瀬研太・鈴木順季・北原邦紀（島根大）・原 明人（東北学院大） (16) 16:25 - 16:45 裏面からのレーザー照射による2層同時結晶化LTPS-TFTメモリの特性評価 ○松江将博・市川和典・赤松 浩（神戸高専）・山崎浩司・堀田昌宏・浦岡行治（奈良先端大） (17) 16:45 - 17:05 Siゲートを持つDNA電界効果トランジスタに関する研究 ○高城祥吾・松尾直人・山名一成・部家 彰・高田忠雄（兵庫県立大）・坂本憲児・横山 新（広島大） (18) 17:05 - 17:25 Poly-Si TFTによるデバイスレベルのニューラルネットワーク ～ 複数回の学習とAND・OR・EXORの学習 ～ ○宮谷友彰・藤田悠佑（龍谷大）・三島大樹（奈良先端大）・谷口 仁・笠川知洋・木村 睦（龍谷大） (19) 17:25 - 17:45 高圧水蒸気熱処理によるa-In2Ga2Zn1O7 TFTの特性改善効果 ○丸山智己・藤井茉美（奈良先端大）・笠見雅司・矢野公規（出光興産）・堀田昌宏・石河泰明（奈良先端大）・浦岡行治（奈良先端大/JST） 一般講演：発表 15 分 ＋ 質疑応答 5 分 招待講演：発表 25 分 ＋ 質疑応答 5 分 ◎研究会終了後，懇親会を予定していますので御参加ください． ☆SDM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日 2011年2月7日(月) 機械振興会館 テーマ：配線・実装技術と関連材料技術 2011年2月23日(水)～24日(木) 北海道大学 百年記念会館 [12月8日(水)] テーマ：機能ナノデバイス及び関連技術 【問合先】 木本 恒暢(京都大学) Tel: 075-383-2300 Fax: 075-383-2303 E-mail:      ee k -u Last modified: 2010-10-21 09:07:39 |
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