| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 研究会 開催プログラム |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップ | 戻る | 前のSDM研究会 / 次のSDM研究会 | [HTML] / [HTML(simple)] / [TEXT] | [Japanese] / [English] |
|
★シリコン材料・デバイス研究会（SDM） 専門委員長 平野 博茂 (タワー パートナーズ セミコンダクター) 副委員長 大見 俊一郎 (東工大) 幹事 森 貴洋 (産総研)， 小林 伸彰 (日大) 幹事補佐 野田 泰史 (パナソニック)， 諏訪 智之 (東北大) 日時 2022年 2月 4日(金) 09：00～14：25 会場 オンライン開催 議題 配線・実装技術と関連材料技術 2月4日(金) 午前 配線・実装技術と関連材料技術 （09：00～14：25） −−− 開会 （ 5分 ） −−− (1) 09:05 - 09:45 ［招待講演］タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価 ○百瀬 健・金 泰雄・鄧 玉斌・出浦桃子（東大）・松尾 明・山口述夫（キヤノンアネルバ）・霜垣幸浩（東大） (2) 09:45 - 10:25 ［招待講演］SAMを用いた次世代ダマシンインテグレーション ○永井洋之・岩下光秋・菊地裕樹（東京エレクトロン）・河崎洋章・ギアナ パッタナイク（TEL Technology Center, America）・藤田啓一（東京エレクトロン九州）・岩井和俊（Tokyo Electron America）・小松裕之・尾崎優貴（JSR） −−− 休憩 （ 15分 ） −−− (3) 10:40 - 11:20 ［招待講演］低温焼結塗布型シリカを用いた印刷エレクトロニクス ○三成剛生（物質・材料研究機構）・孫 晴晴（鄭州大）・李 玲穎（物質・材料研究機構）・李 万里（江南大）・劉 旭影（鄭州大） (4) 11:20 - 12:00 ［招待講演］3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー 中澤圭一・○山元純平・藤井宣年・上原睦雄・平松克規・熊野秀臣・森 茂貴・岡本晋太郎・清水暁人・馬場公一・大沼英寿・松本 晃・財津光一郎・田谷圭司・平野智之・岩元勇人（ソニーセミコンダクタソリューションズ） −−− 昼食 （ 60分 ） −−− (5) 13:00 - 13:40 ［招待講演］超伝導量子コンピュータ ～ スケーラブルな超伝導素子設計と課題 ～ ○田渕 豊（理研） (6) 13:40 - 14:20 ［招待講演］ダイヤモンドスピン量子コンピューターに向けた三次元集積技術 ○石原良一・Jeffrel Hermias・Shuichang Yu・King Y. Yu・Ye Li・Maurice van der Maas・Salahuddin Nur（デルフト工科大）・岩井俊樹・宮武哲也・河口研一・土肥義康・佐藤信太郎（富士通） −−− 閉会 （ 5分 ） −−− 招待講演：発表 30 分 ＋ 質疑応答 10 分 ◆応用物理学会共催 ☆SDM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日 4月22日(金)～23日(土) 高千穂ホール（宮崎市） [2月20日(日)] テーマ：薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 5月27日(金) (開催日変更) オンライン開催 [3月16日(水)] テーマ：機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 【問合先】 SDM幹事：森 貴洋（産業技術総合研究所） 電話 029-849-1149   -    aist Last modified: 2021-12-20 15:56:29 |
ご注意： 迷惑メール対策のためメールアドレスの一部の文字を置換しております．ご了承ください．
[この開催に関する講演論文リストをダウンロードする] ※ こちらのページの最下にあるダウンロードボタンを押してください
[研究会資料インデックス(vol. no.ごとの表紙と目次)]
[研究会発表・参加方法，FAQ] ※ ご一読ください
[SDM研究会のスケジュールに戻る] /
| トップ | 戻る | 前のSDM研究会 / 次のSDM研究会 | [HTML] / [HTML(simple)] / [TEXT] | [Japanese] / [English] |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]