2月5日(金) 午後 オンライン開催 13:00 - 17:25 |
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13:00-13:05 |
開会 ( 5分 ) |
(1) |
13:05-13:45 |
[招待講演]Ru Area Selective Metal Capping and Wafer Surface Condition Control for sub-30nm Pitch Cu Damascene Interconnect |
○Hirokazu Aizawa・Kaoru Maekawa・Kai-Hung Yu・Gyana Pattanaik・Gert Leusink(TTCA) |
(2) |
13:45-14:05 |
Co-Zr合金の単層バリア材料としての特性 |
○山田裕貴・矢作政隆・小池淳一(東北大) |
(3) |
14:05-14:25 |
TaN薄膜のバリア特性の限界 |
○久家俊洋・矢作政隆・小池淳一(東北大) |
(4) |
14:25-15:05 |
[招待講演]1umピッチCu-Cu接続に対する接合ずれの影響 |
○香川恵永・上林拓海・羽根田雅希・藤井宣年・古瀬駿介・橋口日出登・平野智之・岩元勇人(ソニーセミコンダクタソリューションズ) |
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15:05-15:20 |
休憩 ( 15分 ) |
(5) |
15:20-16:00 |
[招待講演]材料開発のためのAIと、AIのための材料開発 |
○山道新太郎(日本IBM) |
(6) |
16:00-16:40 |
[招待講演]AI・IoT・ビックデータ時代の3次元集積実装技術の研究開発 |
○菊地克弥(産総研) |
(7) |
16:40-17:20 |
[招待講演]3D冗長とWafer-on-Wafer(WOW) テクノロジを用いたBumpless-Build-Cube(BBCube) |
○菅谷慎二・中條徳男・作井康司・良尊弘幸・中村友二・大場隆之(東工大) |
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17:20-17:25 |
閉会 ( 5分 ) |