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★電子デバイス研究会（ED）
専門委員長　橋詰保 (北大)　　副委員長　加地徹 (豊田中研)
幹事　村田浩一 (NTT)，原直紀 (富士通研)
幹事補佐　津田邦男 (東芝)，須原理彦 (首都大東京)

日時　2009年 6月11日(木)　13：00～17：15
　　　2009年 6月12日(金)　09：30～12：15

会場東京工業大学大岡山キャンパス南3号館（東急目黒線・大井町線大岡山駅徒歩7分．http://www.titech.ac.jp/access-and-campusmap/j/o-okayamaO-j.html．東工大理工学研究科宮本恭幸．03-5734-2572）

議題半導体のプロセス・デバイス（表面，界面，信頼性），一般

6月11日(木) 午後（13：00～17：15）

(1) 13:00 - 13:25
高dose II剥離におけるSPMレス洗浄の検討
○佐藤俊哉・鈴木　保・塚原彰彦（富士通マイクロエレクトロニクス）・森平恭太（アクアサイエンス）

(2) 13:25 - 13:50
Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価
○伊藤篤史・原田　憲・河瀬康弘・水谷文一（三菱化学）・原　誠・青木秀充・木村千春・杉野　隆（阪大）

(3) 13:50 - 14:15
導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄
○鈴木一成（カイジョー/芝浦工大）・潘　毅・岡野勝一・副島潤一郎（カイジョー）・小池義和（芝浦工大）

−−−　休憩　（ 15分）　−−−

(4) 14:30 - 14:55
べベルブラシ洗浄プロセスの開発
○萩本賢哉・岩元勇人（ソニー）

(5) 14:55 - 15:20
メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性
増住拓朗・原　誠・○青木秀充・呂　志明・木村千　春・杉野　隆（阪大）

−−−　休憩　（ 15分）　−−−

(6) 15:35 - 16:00
GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の電気的評価
○中村成志・星野晃一・落合俊輔・須原理彦・奥村次徳（首都大東京）

(7) 16:00 - 16:25
原子層堆積により形成したAl2O3/AlGaN/GaNの界面評価
○水江千帆子・堀　祐臣（北大）・ミツェークマルチン（Silesian Univ. of Tech.）・橋詰　保（北大）

(8) 16:25 - 16:50
Improvement in Device Performance in MIS AlGaN/GaN HFETs by Designing Insulator/AlGaN/GaN Structures
○Narihiko Maeda・Masanobu Hiroki・Takatomo Enoki（NTT）・Takashi Kobayashi（NTT AT）

(9) 16:50 - 17:15
AlGaN/GaN-HEMTに対するドライエッチングの低ダメージ化の検討
○蔵口雅彦・湯元美樹・高田賢治・津田邦男（東芝）

6月12日(金) 午前（09：30～12：15）

(10) 09:30 - 09:55
歪み印加時のInAsとInSbのバンド構造と電子輸送特性に関する理論的解析
○西野啓之・川平一太・原　伸介・藤代博記（東京理科大）

(11) 09:55 - 10:20
InGaAs/InP二次元電子移動度の異方性
○赤堀誠志（北陸先端大/ユーリッヒ研）・Thanh Quang Trinh・工藤昌宏（北陸先端大）・Thomas Schaepers・Hilde Hardtdegen（ユーリッヒ研）・鈴木寿一（北陸先端大）

(12) 10:20 - 10:45
SiO2細線埋込InP系HBTにおけるCBr4を使ったIn-situエッチング
○武部直明・山下浩明・高橋新之助・齋藤尚史・小林　嵩・宮本恭幸・古屋一仁（東工大）

−−−　休憩　（ 15分）　−−−

(13) 11:00 - 11:25
熱CVD成長SiN膜を用いたゲートリセス構造MIS-AlGaN/GaN-HEMTの電気特性
○丸井俊治・星　真一・戸田典彦・森野芳昭・伊藤正紀・大来英之・玉井　功・関　昇平（OKI）

(14) 11:25 - 11:50
GaN-HEMTエピ構造最適化によるオフ電流低減
○山田敦史・牧山剛三・多木俊裕・金村雅仁・常信和清・今西健治（富士通/富士通研）・原　直紀（富士通研）・吉川俊英（富士通/富士通研）

(15) 11:50 - 12:15
SiC基板上AlGaN/GaN HEMTの基板オフ角依存
○松下景一・桜井博幸・沈　正七・高木一考・川崎久夫・高田賢治・津田邦男（東芝）

☆ED研究会今後の予定　[ ]内発表申込締切日

6月24日(水)～26日(金)　海雲台グランドホテル（釜山、韓国）　[4月10日(金)]　テーマ：第17回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2009)
7月30日(木)～31日(金)　大阪大学（銀杏会館）　[5月23日(土)]　テーマ：センサーデバイス，MEMS，一般

【問合先】
村田浩一（NTT)
TEL：046-240-2871, FAX：046-270-2872
E-mail：