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シリコン材料・デバイス研究会(SDM) [schedule] [select]
専門委員長 奈良 安雄
副委員長 大野 裕三 (筑波大)
幹事 笹子 佳孝 (日立)
幹事補佐 黒田 理人 (東北大)

日時 2013年12月13日(金) 09:00 - 18:00
議題 シリコン関連材料の作製と評価 
会場名 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 大講義室 
住所 奈良県生駒市高山町8916-5
交通案内 学研北生駒から徒歩20分またはバスで5分、高の原駅からバス20分
http://www.naist.jp/accessmap/index_j.html
会場世話人
連絡先
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 浦岡行治
0743-72-6060
他の共催 ◆応用物理学会共催

12月13日(金) 午前 
09:00 - 18:00
(1) 09:00-09:20 パルス電圧ストレス下における酸化物TFTの発熱劣化解析 ○木瀬香保利(奈良先端大)・苫井重和(出光興産)・上岡義弘・山崎はるか・浦川 哲(奈良先端大)・矢野公規(出光興産)・Dapeng Wang・古田 守(高知工科大)・堀田昌宏・石河泰明・浦岡行治(奈良先端大)
(2) 09:20-09:40 高圧水蒸気処理を施したn-GaN上ALD-Al2O3ゲート絶縁膜の電気的特性 ○吉嗣晃治・梅原智明・堀田昌宏・石河泰明・浦岡行治(奈良先端大)
(3) 09:40-10:00 多結晶シリコン薄膜デバイスによるフォトセンサ ○大山翔平・松村 篤・門目尭之・田中 匠・松田時宜・木村 睦(龍谷大)
(4) 10:00-10:20 インジウムを介したVapor-Liquid-Solid機構に基づくシリコンナノワイヤーの形成と評価 ○福永圭吾・畑山智亮・矢野裕司・岡本尚文・谷 あゆみ・石河泰明・冬木 隆(奈良先端大)
(5) 10:20-10:40 キャリア再結合抑制効果を持つ電界効果型薄膜太陽電池 ○若宮彰太・小林孝裕・松尾直人・部家 彰(兵庫県立大)
(6) 10:40-11:00 レーザープロセスを用いたボロンドーピングによるn型単結晶シリコン太陽電池の作製 ○山本悠貴・西村英紀・岡村隆徳・福永圭吾・冬木 隆(奈良先端大)
(7) 11:00-11:20 リンドープのシリコンナノインクを用いたレーザードーピングによる単結晶シリコン太陽電池の作製 ○岡村隆徳・西村英紀・冬木 隆(奈良先端大)・富澤由香・池田吉紀(帝人)
(8) 11:20-11:40 Poly-Si TFTを用いたGate Arrayの設計開発 ○井上雅志・松田時宜・木村 睦(龍谷大)
(9) 11:40-12:00 スパッタリングより形成したAl2O3膜をゲート絶縁膜とするCLC低温poly-Si TFT ○目黒達也・原 明人(東北学院大)
  12:00-13:00 休憩 ( 60分 )
(10) 13:00-13:30 [招待講演]BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用 ○野口 隆・岡田竜弥(琉球大)
(11) 13:30-13:50 軟X線照射による半導体薄膜の低温結晶化 ~ 光子エネルギー依存性とSiGe多層膜のTEM観察 ~ ○草壁 史・丸山裕樹・部家 彰・松尾直人・神田一浩・望月孝晏(兵庫県立大)・伊藤和博・高橋 誠(阪大)
(12) 13:50-14:10 軟X線源を用いたSi中B原子の低温活性化技術の開発 ○部家 彰・草壁 史・丸山裕樹・松尾直人・神田一浩(兵庫県立大)・野口 隆(琉球大)
(13) 14:10-14:40 [招待講演]抵抗変化メモリにおける動作特性制御法としての「細孔エンジニアリング」の提案 ○木下健太郎(鳥取大/TEDREC)・長谷川 祥(鳥取大)
(14) 14:40-15:00 Cu/HfO2/Pt構造CB-RAMの動作特性に対する溶媒置換の影響 ○長谷川 祥・榎本雄太郎・片田直伸・伊藤敏幸・岸田 悟・木下健太郎(鳥取大)
  15:00-15:10 休憩 ( 10分 )
(15) 15:10-15:40 [招待講演]グラフェン誘導体表面に構築したオンチップ型FRETアプタセンサ ○上野祐子・古川一暁(NTT)
(16) 15:40-16:00 第一原理分子動力学法を用いたConducting-Bridge Memory (CB-RAM)における金属拡散機構の解明 ○由良 翔(鳥取大)・山崎隆浩(物質・材料研究機構)・中田謙吾・石井 晃(鳥取大)・岸田 悟・木下健太郎(鳥取大/TEDREC)
(17) 16:00-16:20 遷移金属酸化物抵抗変化メモリのデータリテンション特性 ○吉原幹貴・緒方涼介・村山直寛(鳥取大)・岸田 悟・木下健太郎(鳥取大/TEDREC)
(18) 16:20-16:40 誘電体厚膜の形成とプロトンビームによる直接パターニング ○渡辺和貴・山口正樹・西川宏之(芝浦工大)
(19) 16:40-17:00 長方形断面Geナノワイヤの電子移動度の断面形状およびサイズ依存性 ○田中 一・森 誠悟・森岡直也・須田 淳・木本恒暢(京大)
(20) 17:00-17:20 界面にリンおよび窒素を導入した4H-SiC MOSFETのしきい値電圧不安定性の考察 ○金藤夏子・矢野裕司・大澤 愛・畑山智亮・冬木 隆(奈良先端大)
(21) 17:20-17:40 コンダクタンス法を用いた面方位の異なるSiC MOS構造の界面準位の評価 ○中澤成哉・南園悠一郎・須田 淳・木本恒暢(京大)
(22) 17:40-18:00 三フッ化塩素(ClF3)を用いた炭化珪素(SiC)表面の形状変化 ○堀 良太・畑山智亮・矢野裕司・冬木 隆(奈良先端大)

講演時間
一般講演(20)発表 15 分 + 質疑応答 5 分
招待講演(30)発表 25 分 + 質疑応答 5 分

問合先と今後の予定
SDM シリコン材料・デバイス研究会(SDM)   [今後の予定はこちら]
問合先 小野 行徳(NTT)
Tel 046-240-2641 Fax 046-240-4317
E--mail: o 


Last modified: 2013-11-30 22:00:50


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