| 開催日 | テーマ | 研究会報告 | 開催地 | 担当委員（サブ）敬称略 | 共催 | 投稿〆切 |
| 2011年 | ||||||
| 4月15日 | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術および一般 | 産総研九州センター | 佐道 | OME | 終了 | |
| 5月19日- 20日 |
結晶成長、評価技術及びデバイス（化合物、Si、SiGe、電子・光材料） | 名古屋大学 | 小野 | ED、CPM | 終了 | |
| 6月29日- 7月1日 |
第19回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ（AWAD2011） | 韓国 | 川中、須原 | IEICE、ED、韓国電子工業会 | 終了 | |
| 7月4日 | ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術 | 名古屋大学 | 宮崎、小野 | 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 8月25日-26日 | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 | 富山 | 松田 | ICD | 終了 | |
| 10月20日-21日 | プロセス科学と新プロセス技術 | 東北大学 | 後藤 | 終了 | ||
| 11月10日-11日 | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 | 機械振興会館 | 国清 | 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 | 終了 | |
| 12月16日 | シリコン関連材料の作製と評価 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 終了 | |||
| 2012年 | ||||||
| 2月7日-8日 | 機能ナノデバイスおよび関連技術 | 北海道大学 | 小野 | ED | 終了 | |
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