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★シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
専門委員長 国清 辰也 (ルネサス エレクトロニクス)  副委員長 品田 高宏 (東北大)
幹事 黒田 理人 (東北大), 山口 直 (ルネサス エレクトロニクス)
幹事補佐 池田 浩也 (静岡大)

日時 2017年 6月20日(火) 13:00~17:10

会場 キャンパス・イノベーションセンター東京(〒108-0023 東京都港区芝浦3-3-6.http://www.cictokyo.jp/access.html)

議題 MOSデバイス・メモリ高性能化-材料・プロセス技術 (応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催)

6月20日(火) 午後 (13:00~17:10)

(1) 13:00 - 13:20
[依頼講演]シンチレータとGa2O3半導体
○岡田 豪・臼井雄輝・河野直樹・河口範明・柳田健之(奈良先端大)

(2) 13:20 - 13:40
[依頼講演]SOI技術を用いた量子イメージング検出器の開発 ~ 半導体で素粒子・X線を見る ~
○新井康夫(高エネルギー加速器研究機構)

(3) 13:40 - 14:00
[依頼講演]皮膚アセトン測定に向けたWO3ナノ粒子半導体式ガスセンサの研究
○山田祐樹・檜山 聡(NTTドコモ)・田畑 仁(東大)

(4) 14:00 - 14:20
[依頼講演]ダイヤモンド中の窒素‐空孔センターによる高感度センシング技術
○岩崎孝之・波多野睦子(東工大)

−−− 休憩 ( 15分 ) −−−

(5) 14:35 - 14:55
XPSによるHigh-k/SiO2界面の化学構造およびダイポールの評価
○藤村信幸・大田晃生・池田弥央・牧原克典・宮崎誠一(名大)

(6) 14:55 - 15:15
定電圧および定電流印加によるSi酸化薄膜の電気抵抗変化特性評価
○大田晃生・加藤祐介・池田弥央・牧原克典・宮崎誠一(名大)

(7) 15:15 - 15:35
分極接合基板上pチャネルGaN MOS構造の容量特性についての検討
○高山留美・星井拓也(東工大)・中島 昭(産総研)・西澤伸一(九大)・大橋弘通・角嶋邦之・若林 整・筒井一生(東工大)

(8) 15:35 - 15:55
高濃度SOI基板と転写法によるTMDC FETsの作製
○川那子高暢・居駒 遼・高木寛之・小田俊理(東工大)

−−− 休憩 ( 15分 ) −−−

(9) 16:10 - 16:30
硫黄雰囲気硫化プロセスによるスパッタMoS2薄膜の低キャリア密度化
○松浦賢太朗・大橋 匠・宗田伊理也(東工大)・石原聖也(明大)・角嶋邦之・筒井一生(東工大)・小椋厚志(明大)・若林 整(東工大)

(10) 16:30 - 16:50
Ge1-xSnxゲートスタック構造における欠陥の物性評価
○金田裕一・池 進一・兼松正行・坂下満男・竹内和歌奈・中塚 理・財満鎭明(名大)

(11) 16:50 - 17:10
エピタキシャルAg(111)上の極薄IV族結晶形成
○伊藤公一・大田晃生・黒澤昌志・洗平昌晃・池田弥央・牧原克典・宮崎誠一(名大)

一般講演:発表 15 分 + 質疑応答 5 分
依頼講演:発表 15 分 + 質疑応答 5 分

◆応用物理学会共催


☆SDM研究会今後の予定 [ ]内発表申込締切日

7月31日(月)~8月2日(水) 北海道大学情報教育館 [6月8日(木)] テーマ:アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 

【問合先】
黒田 理人(東北大)
Tel 022-795-4833 Fax 022-795-4834
E-mail: e3


Last modified: 2017-04-19 17:20:55


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