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シリコン材料・デバイス研究会(SDM) [schedule] [select]
専門委員長 国清 辰也 (ルネサス エレクトロニクス)
副委員長 品田 高宏 (東北大)
幹事 黒田 理人 (東北大), 山口 直 (ルネサス エレクトロニクス)
幹事補佐 池田 浩也 (静岡大)

日時 2017年 6月20日(火) 13:00 - 17:10
議題 MOSデバイス・メモリ高性能化-材料・プロセス技術 (応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催) 
会場名 キャンパス・イノベーションセンター東京 
住所 〒108-0023 東京都港区芝浦3-3-6
交通案内 http://www.cictokyo.jp/access.html
他の共催 ◆応用物理学会共催

6月20日(火) 午後 
13:00 - 17:10
(1) 13:00-13:20 [依頼講演]シンチレータとGa2O3半導体 ○岡田 豪・臼井雄輝・河野直樹・河口範明・柳田健之(奈良先端大)
(2) 13:20-13:40 [依頼講演]SOI技術を用いた量子イメージング検出器の開発 ~ 半導体で素粒子・X線を見る ~ ○新井康夫(高エネルギー加速器研究機構)
(3) 13:40-14:00 [依頼講演]皮膚アセトン測定に向けたWO3ナノ粒子半導体式ガスセンサの研究 ○山田祐樹・檜山 聡(NTTドコモ)・田畑 仁(東大)
(4) 14:00-14:20 [依頼講演]ダイヤモンド中の窒素‐空孔センターによる高感度センシング技術 ○岩崎孝之・波多野睦子(東工大)
  14:20-14:35 休憩 ( 15分 )
(5) 14:35-14:55 XPSによるHigh-k/SiO2界面の化学構造およびダイポールの評価 ○藤村信幸・大田晃生・池田弥央・牧原克典・宮崎誠一(名大)
(6) 14:55-15:15 定電圧および定電流印加によるSi酸化薄膜の電気抵抗変化特性評価 ○大田晃生・加藤祐介・池田弥央・牧原克典・宮崎誠一(名大)
(7) 15:15-15:35 分極接合基板上pチャネルGaN MOS構造の容量特性についての検討 ○高山留美・星井拓也(東工大)・中島 昭(産総研)・西澤伸一(九大)・大橋弘通・角嶋邦之・若林 整・筒井一生(東工大)
(8) 15:35-15:55 高濃度SOI基板と転写法によるTMDC FETsの作製 ○川那子高暢・居駒 遼・高木寛之・小田俊理(東工大)
  15:55-16:10 休憩 ( 15分 )
(9) 16:10-16:30 硫黄雰囲気硫化プロセスによるスパッタMoS2薄膜の低キャリア密度化 ○松浦賢太朗・大橋 匠・宗田伊理也(東工大)・石原聖也(明大)・角嶋邦之・筒井一生(東工大)・小椋厚志(明大)・若林 整(東工大)
(10) 16:30-16:50 Ge1-xSnxゲートスタック構造における欠陥の物性評価 ○金田裕一・池 進一・兼松正行・坂下満男・竹内和歌奈・中塚 理・財満鎭明(名大)
(11) 16:50-17:10 エピタキシャルAg(111)上の極薄IV族結晶形成 ○伊藤公一・大田晃生・黒澤昌志・洗平昌晃・池田弥央・牧原克典・宮崎誠一(名大)

講演時間
一般講演発表 15 分 + 質疑応答 5 分
依頼講演発表 15 分 + 質疑応答 5 分

問合先と今後の予定
SDM シリコン材料・デバイス研究会(SDM)   [今後の予定はこちら]
問合先 黒田 理人(東北大)
Tel 022-795-4833 Fax 022-795-4834
E--mail: e3 


Last modified: 2017-04-19 17:20:55


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