| 区 分 | 氏 名 | 所 属 |
|---|---|---|
| 委員長 | 最上 徹 | ＮＥＣ・シリコンシステム研究所 |
| 副委員長 | 徳光 永輔 | 東京工業大学・精密工学研究所 |
| 幹事 | 木本 恒暢 | 京都大学・工学研究科 |
| 幹事 | 武村 久 | ＮＥＣ・シリコンシステム研究所 |
| 幹事補佐 | 野口 隆 | ソニー・フロンティアサイエンス研究所 |
| 幹事補佐 | 赤澤 正道 | 北海道大学・工学部 |
| 委員 | 浅野 種正 | 九州工業大学・マイクロ化総合技術センター |
| 委員 | 井上 恭典 | 三洋電機・マイクロエレクトロニクス研究所 |
| 委員 | 上野 和良 | ＮＥＣ・先端デバイス開発本部 |
| 委員 | 大野 守史 | 沖電気工業・超LSI研究開発センター |
| 委員 | 大野 吉和 | 三菱電機・ULSI技術開発センター |
| 委員 | 黒木 幸令 | 九州大学大学院・システム情報科学研究科 |
| 委員 | 小谷 光司 | 東北大学大学院・工学研究科 |
| 委員 | 古宮 秀雄 | シャープ・IC開発本部・プロセス開発研究所 |
| 委員 | 佐藤 康博 | ＮＴＴ・通信エネルギー研究所 |
| 委員 | 神力 博 | 東京エレクトロン・枚葉成膜システム本部 |
| 委員 | 杉井 寿博 | 富士通研究所・機能デバイス研究部 |
| 委員 | 高橋 芳浩 | 日本大学・理工学部 |
| 委員 | 田部 道晴 | 静岡大学・電子工学研究所 |
| 委員 | 西岡 泰城 | 日本ﾃｷｻｽ･ｲﾝｽﾂﾙﾒﾝﾄ・筑波研究開発センター |
| 委員 | 羽路 伸夫 | 横浜国立大学・工学部 |
| 委員 | 平谷 正彦 | 日立製作所・中央研究所 |
| 委員 | 平本 俊郎 | 東京大学・生産技術研究所 |
| 委員 | 冬木 隆 | 奈良先端科学技術大学院大学・物質創成科学研究科 |
| 委員 | 松尾 一郎 | 松下電子工業㈱半導体社・プロセス開発センター |
| 委員 | 松田 敏弘 | 富山県立大学・工学部 |
| 委員 | 松本 智 | 慶応義塾大学・理工学部 |
| 委員 | 宮崎 誠一 | 広島大学・工学部 |
| 委員 | 若原 昭浩 | 豊橋技術科学大学・電気電子工学系 |
| 委員 | 渡辺 重佳 | 東芝・技術企画室 |
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