| 講演名 | 2015-01-29 背景散乱光を用いた回折光学素子の形状推定(光-無線融合NW、新周波数(波長)帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般) 八講 学, 喜入 朋宏, 茨田 大輔, 谷田貝 豊彦, 早崎 芳夫, |
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| 抄録(和) | 回折光学素子が発する背景散乱光は,光学素子の製作プロセスにおいて,通常は抑制されるものであり,背景散乱光から素子の形状を評価する発想は無かった.我々は,光学素子が発する背景散乱光に素子の欠陥形状の情報が豊富に含まれている事実を,実測と計算の両面で初めて実証した.サンプルの表面形状情報が豊富に含まれる散乱角度領域を抽出し,この特徴的な領域において,実測値と計算値とをマッチングした.この方法によって,背景散乱光強度を用いることで回折光学素子の形状推定精度が向上することを示した. |
| 抄録(英) | Background scattered light should normally be reduced in industrial fabrication processes. However, we demonstrated that background scattered light from a diffractive optical element contains significant structural information about the element. This was revealed by good agreement between the measured scattered light intensity of a sample and a computer simulation of the light intensity from the sample. Signature region where the background scattered light varied sensitively to the difference of the sample surface shape was determined. The data matching between measurements and computer simulations in this signature region showed that using background scattered light intensity enabled to estimate the surface shape more precisely compared with using the diffraction peak intensity alone. |
| キーワード(和) | scattering / DOE / スキャトロメトリ / ナノ構造 / 形状推定 |
| キーワード(英) | scattering / DOE |
| 資料番号 | PN2014-31,OPE2014-156,LQE2014-143,EST2014-85,MWP2014-53 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST |
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| 開催期間 | 2015/1/22(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Simulation Technology (EST) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 背景散乱光を用いた回折光学素子の形状推定(光-無線融合NW、新周波数(波長)帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Shape estimation of a diffractive optical element with background scattered light |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | scattering / scattering |
| キーワード(2)（和/英） | DOE / DOE |
| キーワード(3)（和/英） | スキャトロメトリ |
| キーワード(4)（和/英） | ナノ構造 |
| キーワード(5)（和/英） | 形状推定 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 八講 学 / Manabu Hakko |
| 第 1 著者 所属（和/英） | キヤノン株式会社 Optics Technology Development Center, Corporate R&D Headquarters, Canon Inc. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 喜入 朋宏 / Tomohiro Kiire |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学オプティクス教育研究センター Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 茨田 大輔 / Daisuke Barada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学オプティクス教育研究センター Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 谷田貝 豊彦 / Toyohiko Yatagai |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学オプティクス教育研究センター Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 早崎 芳夫 / Yoshio Hayasaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学オプティクス教育研究センター Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University |
| 発表年月日 | 2015-01-29 |
| 資料番号 | PN2014-31,OPE2014-156,LQE2014-143,EST2014-85,MWP2014-53 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 433 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |