| 講演名 | 2014-12-19 熱応力・静電力駆動のマイクロマシンを用いたアサーマル波長可変面発光レーザ(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),半導体レーザ関連技術,シリコンフォトニクス,一般) 中濱 正統, 坂口 孝浩, 松谷 晃宏, 小山 二三夫, |
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| 抄録(和) | 熱応力・静電力駆動のマイクロマシン反射鏡をVCSELに集積した構造で,波長温度無依存動作と波長可変動作を同時に実現したので報告する.マイクロマシンの熱駆動によって波長の熱ドリフトを補償すると共に,静電力駆動によって波長を連続的に掃引する.波長温度係数を通常の1/10以下に抑制したまま,約10nmの波長可変幅が得られた. |
| 抄録(英) | We demonstrate an athermal and electrostatically-tunable MEMS VCSEL for the first time. A continuous wavelength tuning of 10 nm is obtained with a low thermal wavelength drift, which is 10 times smaller than that of conventional VCSELs. |
| キーワード(和) | 面発光レーザ / MEMS / 波長可変レーザ |
| キーワード(英) | VCSEL / MEMS / Tunable semiconductor lasers |
| 資料番号 | OPE2014-144,LQE2014-131 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2014/12/11(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 熱応力・静電力駆動のマイクロマシンを用いたアサーマル波長可変面発光レーザ(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),半導体レーザ関連技術,シリコンフォトニクス,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Athermal Tunable VCSEL with Thermally- and Electrostatically-actuated Micromachined Mirror |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 面発光レーザ / VCSEL |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | 波長可変レーザ / Tunable semiconductor lasers |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中濱 正統 / Masanori NAKAHAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 坂口 孝浩 / Takahiro SAKAGUCHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松谷 晃宏 / Akihiro MATSUTANI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学半導体MEMSプロセス技術センター Semiconductor MEMS Process Center, Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 小山 二三夫 / Fumio KOYAMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2014-12-19 |
| 資料番号 | OPE2014-144,LQE2014-131 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 378 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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