| 講演名 | 2014-12-12 空孔率制御によるポーラスシリコン膜の自己組織的3次元微細構造形成(シリコン関連材料の作製と評価及びディスプレイ技術) 石黒 敬太, 出野上 真樹, 青木 画奈, 藤井 稔, |
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| 抄録(和) | シリコン(Si)は電子デバイスの根幹を担うだけでなく、プロジェクタに内蔵されるDigital Mirror Device(DMD)やインクジェットプリンタのヘッド、スマートフォンのモーションセンサなど、Micro-Electro-Mechanical-Systems(MEMS)の分野で、様々なデバイスの基本材料としての地位を確立している。近年のSi微細加工技術の発達により、MEMSの小型化・高機能化は次々と実現されてきたが、より高度な集積化や可動領域の広範囲化を可能にする3次元加工技術は未だ完成されておらず、産業展開可能な量産技術の確立には至っていない。本研究では、簡便で大量形成可能なSiの新たな3次元加工技術として、膜厚方向に空孔率を変化させたポーラスシリコン(PSi)を用いた円曲構造の形成法を提案する。 |
| 抄録(英) | Silicon (Si) is not only the basis of electronic devices, but also established as a basic material of various devices, especially in the field of Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS), such as Digital Mirror Device (DMD) built in an image projector, an inkjet printer head, motion sensors of a smartphone, and so on. Compact and highly-functional MEMS devices have been seamlessly realized with the development of Si micromachining technology. However, three-dimensional (3D) processing technique which allows more advanced integration and wide range mobility is not yet established. In this study, we propose a new shaping method of Si into micro circular curvature structures utilizing porosity-controlled porous silicon membrane and steam oxidation. This is a simple, costless, and mass producible new 3D micro processing technique of Si. |
| キーワード(和) | 自己巻き上げ / ポーラスシリコンチューブ / MEMS / Lab-on-a-chip |
| キーワード(英) | Self-rolled-up / Porous silicon tube / Micro-Electro-Mechanical systems (MEMS) / Lab-on-a-chip |
| 資料番号 | EID2014-31,SDM2014-126 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 2014/12/5(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 空孔率制御によるポーラスシリコン膜の自己組織的3次元微細構造形成(シリコン関連材料の作製と評価及びディスプレイ技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Porous Silicon 3D micro structure formation by strain-induced self-rolling by porosity control |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 自己巻き上げ / Self-rolled-up |
| キーワード(2)（和/英） | ポーラスシリコンチューブ / Porous silicon tube |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS / Micro-Electro-Mechanical systems (MEMS) |
| キーワード(4)（和/英） | Lab-on-a-chip / Lab-on-a-chip |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石黒 敬太 / Keita ISHIGURO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Kobe University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 出野上 真樹 / Masaki DENOKAMI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Kobe University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 青木 画奈 / Kanna AOKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Kobe University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 藤井 稔 / Minoru FUJII |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Kobe University |
| 発表年月日 | 2014-12-12 |
| 資料番号 | EID2014-31,SDM2014-126 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 359 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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