| 講演名 | 2014-11-27 InNの硬度とヤング率(窒化物半導体光・電子デバイス,材料,関連技術,及び一般) 大久保 泰, 出浦 桃子, 徳本 有紀, 沓掛 健太朗, 大野 裕, 米永 一郎, |
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| 抄録(和) | Plasma-assisted MBE法によって成長された厚さが0.5～4μmのInN薄膜結晶について、結晶品質が良好であることが確認された後に、その機械的特性の重要な指標である硬度とヤング率がナノインデンテーション法によって測定され、それぞれ8.2GPaと178GPaと決定された。結晶性はIn極性で成長された結晶がN極性成長試料より良好であり、その特徴は機械的特性に発現した。 |
| 抄録(英) | InN thin films of 0.5-4 μm thickness grown by plasma-assisted MBE method were investigated on the mechanical properties of hardness and Young's modulus by nanoindentation tests at room temperature in terms of the crystalline quality. The hardness and Young's modulus were determined to be 8.2 and 178 GPa, respectively. The values were strongly affected by the crystallinity. |
| キーワード(和) | 窒化インジウム / 硬度 / ヤング率 / ナノインデンテーション法 / 結晶性 |
| キーワード(英) | InN / hardness / Young's modulus / nanoindentation / crystallinity |
| 資料番号 | ED2014-82,CPM2014-139,LQE2014-110 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2014/11/20(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | InNの硬度とヤング率(窒化物半導体光・電子デバイス,材料,関連技術,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Hardness and Young's Modulus of InN |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 窒化インジウム / InN |
| キーワード(2)（和/英） | 硬度 / hardness |
| キーワード(3)（和/英） | ヤング率 / Young's modulus |
| キーワード(4)（和/英） | ナノインデンテーション法 / nanoindentation |
| キーワード(5)（和/英） | 結晶性 / crystallinity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大久保 泰 / Yasushi OHKUBO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学金属材料研究所 Institute for Materials Research, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 出浦 桃子 / Momoko DEURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学金属材料研究所 Institute for Materials Research, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 徳本 有紀 / Yuki TOKUMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所 Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 沓掛 健太朗 / Kentaro KUTSUKAKE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学金属材料研究所 Institute for Materials Research, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 大野 裕 / Yutaka OHNO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学金属材料研究所 Institute for Materials Research, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 米永 一郎 / Ichiro YONENAGA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学金属材料研究所 Institute for Materials Research, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2014-11-27 |
| 資料番号 | ED2014-82,CPM2014-139,LQE2014-110 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 337 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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