| 講演名 | 2014-10-24 空洞共振器法を用いた誘電体フィルムのミリ波複素誘電率測定に関する検討(マイクロ波,電磁界シミュレーション,EMC一般) 小島 駿佑, 土屋 広樹, 清水 隆志, 古神 義則, |
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| 抄録(和) | ミリ波回路用薄型基板材料の開発のために、その高精度複素誘電率評価法が求められている。薄型の誘電体である誘電体フィルムの複素誘電率測定法として、本研究では空洞共振器法に注目した。JIS/IECで標準化され、比較的汎用性の高い遮断円筒導波管法で用いる円筒導波管の両端に短絡板を取り付けた円筒空洞共振器と、薄型材料評価に特化し設計された空洞共振器の二つを用い、試料厚さの異なる5種類の誘電体フィルムの複素誘電率測定を行った。これらの測定結果から、その測定精度と測定可能な最小厚さについて検討を行った。その結果、薄型試料評価用空洞共振器を用いた場合は、試料厚さ10μmまで測定可能であることを実証した。 |
| 抄録(英) | In order to develop thin dielectric materials, accurate measurement methods for complex permittivity are required. We focus on two types of cavity resonator method for film material measurements. One is a circular empty cavity resonator, which is attached short conductor plate to circular cylinder for the cut-off circular waveguide method. Another is an empty cavity resonator, which is designed for a thin material measurement. Complex permittivity measurements for 5 kinds of dielectric film are performed to discuss a measurement limit for sample thickness and its accuracy. As a result, it is verified that it can be measured till thickness of 10μm when the cavity resonator designed for film materials is used. |
| キーワード(和) | 空洞共振器法 / 誘電体フィルム / 複素誘電率 / ミリ波 |
| キーワード(英) | Cavity resonator method / Dielectric film / Complex permittivity / Millimeter-wave |
| 資料番号 | EMCJ2014-56,MW2014-112,EST2014-70 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
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| 開催期間 | 2014/10/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 空洞共振器法を用いた誘電体フィルムのミリ波複素誘電率測定に関する検討(マイクロ波,電磁界シミュレーション,EMC一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on millimeter wave measurements for complex permittivity of dielectric films using a cavity resonator method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 空洞共振器法 / Cavity resonator method |
| キーワード(2)（和/英） | 誘電体フィルム / Dielectric film |
| キーワード(3)（和/英） | 複素誘電率 / Complex permittivity |
| キーワード(4)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-wave |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 小島 駿佑 / Shunsuke KOJIMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 土屋 広樹 / Hiroki TSUCHIYA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 清水 隆志 / Takashi SHIMIZU |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 古神 義則 / Yoshinori KOGAMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Utsunomiya University |
| 発表年月日 | 2014-10-24 |
| 資料番号 | EMCJ2014-56,MW2014-112,EST2014-70 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 267 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |