| 講演名 | 2014-10-16 走査型透過電子顕微鏡への搭載に向けたTES型X線マイクロカロリメータアレイの開発(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般) 村松 はるか, 永吉 賢一郎, 林 佑, 酒井 和広, 満田 和久, 山崎 典子, |
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| 抄録(和) | 分散型X線分光分析(EDS)を用いた走査型透過電子顕微鏡(STEM)は,ナノテクノロジー,材料工学,バイオテクノロジーのような様々な研究分野での組成分析において重要なツールとなっている.しかし,STEM-EDSの従来の半導体検出器では,低いエネルギー分解能(～130eV)のためスペクトルの多くを分離することが難しい.そこで我々の研究グループでは,広いエネルギー帯域(0.5-10keV)で高いエネルギー分解能(<10eV)を達成するために超伝導遷移端型(TES)X線マイクロカロリメータアレイを搭載したSTEM-EDSシステムの開発を行っている.本発表では,STEM用に設計された64素子TESアレイの試作結果とそのX線照射実験の結果について報告する. |
| 抄録(英) | Energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) performed with a scanning transmission electron micro-scope (STEM) is now playing an important role for compositional analysis in various research fields such as nan-otechnology, material science and biotechnology. However, due to a low energy resolution of ～130 eV with a Si(Li) solid-state detector (SSD), generally used in a STEM-EDS, many spectral peaks are hard to separate. We are then developing a new STEM-EDS system with a superconducting transition-edge sensor (TES) microcalorimeter array to achieve a good energy resolution (< 10 eV) in wide-energy band (0.5 - 10 keV). We describe the design of 64-channel TES array prototype optimized for STEM-EDS and the result of the first X-ray irradiation test. |
| キーワード(和) | 走査型透過電子顕微鏡 / 超伝導遷移端型マイクロカロリメータ / X線 |
| キーワード(英) | STEM / Transition-edge-sensor microcalorimeters / X-ray |
| 資料番号 | SCE2014-45 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2014/10/8(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 走査型透過電子顕微鏡への搭載に向けたTES型X線マイクロカロリメータアレイの開発(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Developing of TES X-ray Microcalorimeter Array for a STEM-EDS System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 走査型透過電子顕微鏡 / STEM |
| キーワード(2)（和/英） | 超伝導遷移端型マイクロカロリメータ / Transition-edge-sensor microcalorimeters |
| キーワード(3)（和/英） | X線 / X-ray |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 村松 はるか / Haruka MURAMATSU |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇宙航空研究開発機構 Japan Aerospace Exploration Agency |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 永吉 賢一郎 / Kenichiro NAGAYOSHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇宙航空研究開発機構 Japan Aerospace Exploration Agency |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 林 佑 / Tasuku HAYASHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇宙航空研究開発機構 Japan Aerospace Exploration Agency |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 酒井 和広 / Kazuhiro SAKAI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 宇宙航空研究開発機構 Japan Aerospace Exploration Agency |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 満田 和久 / Kazuhisa MITSUDA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 宇宙航空研究開発機構 Japan Aerospace Exploration Agency |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山崎 典子 / Noriko Y. YAMASAKI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 宇宙航空研究開発機構 Japan Aerospace Exploration Agency |
| 発表年月日 | 2014-10-16 |
| 資料番号 | SCE2014-45 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 247 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |