| 講演名 | 2014-10-15 3次元構造超伝導トンネル接合の作製(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般) 藤井 剛, 浮辺 雅宏, 志岐 成友, 大久保 雅隆, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 我々が開発しているX線吸収微細構造分析装置の検出感度の向上には、使用するNb/Al超伝導トンネル接合(STJ)アレイ検出器の有感面積の拡大が有効である。アレイを構成する各STJ素子の面積拡大は、エネルギー分解能の劣化を招くため、有感面積の拡大はアレイ数の増大により実現する必要がある。そのため、有感面積を現行の10倍以上にするためには、アレイ数を現在の100から1000以上にする必要である。今回我々は、配線をSTJ素子下部に配置することにより、1つのSTJ素子に必要な面積を削減、現在の100アレイ素子と同程度の面積内に、最大4000個STJ素子を集積できる3次元構造を持つSTJアレイ素子を作製した。作製したアレイの中で最良のSTJでは、0.40mVでのリーク電流は2nAであり、X線検出器として十分な特性を実現した。 |
| 抄録(英) | In order to achieve a high throughput analysis of X-ray absorption fine structure (XAFS) with superconducting tunnel junction (STJ) array detectors, the pixel number of the array detectors should be further increased up to more than 1000 to enlarge the sensitive area. In this work, we have fabricated the STJ with three-dimensional structure by embedding a wiring layer in a SiO_2 isolation layer underneath a base electrode of STJs. The fabricated STJ showed excellent current-voltage characteristics having low subgap currents less than 2 nA. |
| キーワード(和) | 超伝導トンネル接合 / 軟X線検出器 / 3次元構造 / X線吸収微細構造分析 / Nb/Al |
| キーワード(英) | Superconducting tunnel junction / Soft X-ray detector / Three-dimensional structure / X-ray absorption fine structure / Nb/Al |
| 資料番号 | SCE2014-35 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
|---|---|
| 開催期間 | 2014/10/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 3次元構造超伝導トンネル接合の作製(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of three-dimensional superconducting tunnel junctions |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導トンネル接合 / Superconducting tunnel junction |
| キーワード(2)（和/英） | 軟X線検出器 / Soft X-ray detector |
| キーワード(3)（和/英） | 3次元構造 / Three-dimensional structure |
| キーワード(4)（和/英） | X線吸収微細構造分析 / X-ray absorption fine structure |
| キーワード(5)（和/英） | Nb/Al / Nb/Al |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 藤井 剛 / Go FUJII |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 Research Instrumentation Frontier, National Institute of Advanced Industrial Science and Technoloby |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 浮辺 雅宏 / Masahiro UKIBE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 Research Instrumentation Frontier, National Institute of Advanced Industrial Science and Technoloby |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 志岐 成友 / Shigetomo SHIKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 Research Instrumentation Frontier, National Institute of Advanced Industrial Science and Technoloby |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 大久保 雅隆 / Masataka OHKUBO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 Research Instrumentation Frontier, National Institute of Advanced Industrial Science and Technoloby |
| 発表年月日 | 2014-10-15 |
| 資料番号 | SCE2014-35 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 247 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |