| 講演名 | 2014-08-21 高Q値MEMS共振器の高速振幅制御手法(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般) 岡本 創, マブーブ イムラン, 小野満 恒二, 山口 浩司, |
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| 抄録(和) | 高いQ値を有するMEMS共振器は高感度センサや低消費電力ロジックなど高性能・高機能な微小電気機械素子として注目される。しかしその一方で、高Q値MEMS共振器は振動の減衰時間が長く、共振器を初期化して再び使用するまでに要する"動作速度"の低速性が問題となる。このQ値と動作速度のトレードオフ問題を回避する技術として、我々はMEMS共振器間のパラメトリック結合を用いた高速振幅制御手法を提案する。振動の減衰レートを上回るパラメトリック強結合の実現により、隣接共振器へ振動エネルギーを自在に移し、MEMS共振器の振動を速やかに止めることが可能となる。我々はこの手法をGaAs系MEMS共振器に適用し、圧電効果を用いたパラメトリック結合制御により、高Q値MEMS共振器の高速振幅制御に成功したので報告する。 |
| 抄録(英) | High-Q MEMS resonators have a strong advantage in their applications, e.g., highly precise sensors and low power consumption logics. However, the high-Q characteristic limits the switching speed of the mechanical resonator because of the long ring-down time owing to the small energy dissipation. Here we propose a new scheme to solve this trade-off using parametric coupling between two MEMS resonators. The realization of strong parametric coupling enables quick energy transfer from one resonator to the other, leading to the quick control of the vibration amplitude within the intrinsic ring-down time. We demonstrate rapid repetitive operations of a high-Q MEMS resonator by applying this technique to GaAs-based MEMS resonators through the piezoelectrically controlled parametric coupling. |
| キーワード(和) | MEMS / 共振器 / 結合 / 制御 / GaAs |
| キーワード(英) | MEMS / Resonator / Coupling / Control / GaAs |
| 資料番号 | R2014-33,EMD2014-38,CPM2014-53,OPE2014-63,LQE2014-37 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2014/8/14(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高Q値MEMS共振器の高速振幅制御手法(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Quick control of the vibration amplitude in high-Q MEMS resonators |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | 共振器 / Resonator |
| キーワード(3)（和/英） | 結合 / Coupling |
| キーワード(4)（和/英） | 制御 / Control |
| キーワード(5)（和/英） | GaAs / GaAs |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡本 創 / Hajime OKAMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | マブーブ イムラン / Imran MAHBOOB |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小野満 恒二 / Koji ONOMITSU |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山口 浩司 / Hiroshi YAMAGUCHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories |
| 発表年月日 | 2014-08-21 |
| 資料番号 | R2014-33,EMD2014-38,CPM2014-53,OPE2014-63,LQE2014-37 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 185 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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